阮建峰

作品数:2被引量:5H指数:1
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供职机构:上海大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:GEM探测器C轴取向金刚石膜射频磁控溅射更多>>
发文领域:核科学技术电子电信更多>>
发文期刊:《核电子学与探测技术》《压电与声光》更多>>
所获基金:国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金“上海-应用材料研究与发展”基金更多>>
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多层式金刚石膜上沉积ZnO薄膜的研究
《压电与声光》2007年第3期335-337,共3页赵平 夏义本 王林军 刘健敏 苏青峰 阮建峰 史伟民 
国家自然科学基金资助项目(60577040);上海市纳米科技专项基金资助项目(0452nm051;05nm05046);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404)
提出了一种制作ZnO/金刚石/硅结构声表面波器件的新工艺。利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,在硅基片上沉积了晶粒尺寸逐层减小的、光滑的多层式金刚石薄膜,表面粗糙度低于20 nm,厚度大于35μm。...
关键词:ZNO薄膜 金刚石膜 C轴取向 射频磁控溅射 
气体电子倍增器(GEM)探测器被引量:5
《核电子学与探测技术》2003年第5期481-485,共5页汪琳 夏义本 王林军 张明龙 杨莹 张伟丽 阮建峰 蒋丽雯 
国家自然科学基金资助项目(60072033);上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助
气体电子倍增器(GEM)作为一种新型气体电离室探测器,具有结构简单、性能卓越、兼容性强等优点,广泛应用于高能物理、核物理等多个领域。介绍了GEM探测器的原理、研究现状及发展应用。
关键词:气体电子倍增器 GEM 气体电离室探测器 漂移电极 
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