蒋丽雯

作品数：6被引量：15H指数：2
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供职机构：上海大学更多>>
发文主题：表面粗糙度金刚石薄膜HFCVD光学性能纳米金刚石更多>>
发文领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》《核电子学与探测技术》《上海大学学报（自然科学版）》《材料科学与工艺》更多>>
所获基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金上海市科委纳米专项基金更多>>
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低粗糙度金刚石薄膜的制备及其光学性能的表征被引量：1
《上海大学学报（自然科学版）》2007年第3期320-324,共5页施凌云 王林军 蒋丽雯 刘健敏 夏义本 
国家自然科学基金资助项目(60577040);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404);上海市重点学科建设资助项目(T0101);上海市纳米专项基金资助项目(0452nm0510552nm046)
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在反应气压、衬底温度一定的情况下,通过改变碳源浓度以制备低粗糙度金刚石薄膜.扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试结果表明,随着碳源浓度适当增加(从2%增加到3%),金刚石薄膜表面晶粒尺寸减小到纳...
关键词：金刚石薄膜 碳源浓度 表面粗糙度 光学性质 
晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量：1
《功能材料与器件学报》2006年第4期275-279,共5页崔江涛 王林军 苏青峰 阮建锋 蒋丽雯 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(No.60577040);上海应用材料研究与发展基金(No.0404);上海市纳米专项(No.0452nm051);上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助上海市重点学科(T0101)资助
通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金...
关键词：金刚石膜 电学特性 晶粒尺寸 HFCVD 
用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究被引量：1
《材料科学与工艺》2006年第4期408-411,共4页刘健敏 夏义本 王林军 阮建锋 苏青峰 蒋丽雯 史伟民 
国家自然科学基金资助项目(60277024);上海市纳米专项资助项目(0452nm051);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404);上海市重点学科赞助项目(T0101)
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑...
关键词：自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 声表面波器件 
纳米金刚石薄膜的光学性能研究被引量：7
《红外与毫米波学报》2006年第3期195-198,共4页蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(60577040);上海应用材料研究与发展基金(0404);上海市纳米科技专项(0452nm051);上海市重点学科资助(T0101)
用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、...
关键词：纳米金刚石薄膜 光学透过性 热丝化学气相法 表面粗糙度 
多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
《功能材料与器件学报》2006年第2期91-94,共4页阮建锋 夏义本 王林军 刘健敏 蒋丽雯 崔江涛 苏青峰 史伟民 
国家自然科学基金(项目编号:60277024);上海应用材料研究与发展基金(批准号0404);上海市教育委员会"材料学"重点学科资助
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.8...
关键词：纳米金刚石 HFCVD 表面粗糙度 声表面波 
气体电子倍增器(GEM)探测器被引量：5
《核电子学与探测技术》2003年第5期481-485,共5页汪琳 夏义本 王林军 张明龙 杨莹 张伟丽 阮建峰 蒋丽雯 
国家自然科学基金资助项目(60072033);上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助
气体电子倍增器(GEM)作为一种新型气体电离室探测器,具有结构简单、性能卓越、兼容性强等优点,广泛应用于高能物理、核物理等多个领域。介绍了GEM探测器的原理、研究现状及发展应用。
关键词：气体电子倍增器 GEM 气体电离室探测器 漂移电极 
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