阮建锋

作品数：5被引量：10H指数：1
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供职机构：上海大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：表面粗糙度HFCVD氧化锌薄膜金刚石金刚石膜更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《压电与声光》《红外与毫米波学报》《材料科学与工艺》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金上海市科委纳米专项基金更多>>
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金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究被引量：1
《压电与声光》2006年第6期627-629,共3页刘健敏 夏义本 王林军 阮建锋 苏青峰 史伟民 
国家自然科学基金资助项目(60277024);上海市纳米专项基金资助项目(0452nm0510552nm046);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404);上海市重点学科基金资助项目(T0101)
采用热丝化学气相沉积(CVD)法制备了自支撑金刚石膜,再通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜上。通过光学显微镜、扫描电镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)测试自支撑金刚石膜的表面形貌,结果表明,自支撑金刚石膜的成核面非常...
关键词：自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 c轴择优取向 
晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量：1
《功能材料与器件学报》2006年第4期275-279,共5页崔江涛 王林军 苏青峰 阮建锋 蒋丽雯 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(No.60577040);上海应用材料研究与发展基金(No.0404);上海市纳米专项(No.0452nm051);上海市教育委员会"材料学"重点学科赞助上海市重点学科(T0101)资助
通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金...
关键词：金刚石膜 电学特性 晶粒尺寸 HFCVD 
用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究被引量：1
《材料科学与工艺》2006年第4期408-411,共4页刘健敏 夏义本 王林军 阮建锋 苏青峰 蒋丽雯 史伟民 
国家自然科学基金资助项目(60277024);上海市纳米专项资助项目(0452nm051);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404);上海市重点学科赞助项目(T0101)
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑...
关键词：自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 声表面波器件 
纳米金刚石薄膜的光学性能研究被引量：7
《红外与毫米波学报》2006年第3期195-198,共4页蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本 
国家自然科学基金(60577040);上海应用材料研究与发展基金(0404);上海市纳米科技专项(0452nm051);上海市重点学科资助(T0101)
用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、...
关键词：纳米金刚石薄膜 光学透过性 热丝化学气相法 表面粗糙度 
多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
《功能材料与器件学报》2006年第2期91-94,共4页阮建锋 夏义本 王林军 刘健敏 蒋丽雯 崔江涛 苏青峰 史伟民 
国家自然科学基金(项目编号:60277024);上海应用材料研究与发展基金(批准号0404);上海市教育委员会"材料学"重点学科资助
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.8...
关键词：纳米金刚石 HFCVD 表面粗糙度 声表面波 
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