冯毓材

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院空间科学与应用研究中心更多>>
发文主题：离子源离子束表面改性强流蒸发更多>>
发文领域：理学一般工业技术机械工程更多>>
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光学薄膜制备用的多离子束电子束系统
《电工电能新技术》1997年第3期26-29,共4页冯毓材 李哓谦 尢大纬 况元珠 王宇 
本文介绍一种新型的光学薄膜制备用多离子束电子束系统。该系统既可采用聚焦离子束溅射沉积，也可采用传统的电子束蒸发沉积薄膜，并辅助以低能离子轰击，离子可以是惰性元素也可以是反应气体离子。系统的特征是：任何与真空相容的材料...
关键词：光学薄膜 多离子束电子束 薄膜 
薄膜制备用电子束蒸发强流气固两用离子源
《真空科学与技术》1996年第6期445-448,共4页冯毓材 李晓谦 
国家自然科学基金
介绍了一种新型的电子束蒸发（EBE）强流气、固两用离子源，其基本原理是将电子束蒸发技术引人离子源放电室内，使材料的蒸发和游离在同一放电室内完成。该源不仅能引出包括各种难熔材料在内的强流金属和非金属离子束，而且能同时引出...
关键词：表面改性 电子束蒸发 金属离子源 薄膜制备 
用于材料改性的宽束离子源现状及其发展被引量：2
《微细加工技术》1996年第1期67-75,共9页尤大纬 冯毓材 王宇 
本文叙述了对材料表面改性的宽束离子源的要求，重点介绍了考夫曼型气体离子源及电子束蒸发强流金属离子源，也介绍了ＲＦ、ＥＣＲ离子源及ＭＥＶＶＡ源。
关键词：离子束 材料改性 离子源 
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