李珺泓

作品数：2被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：中北大学更多>>
发文主题：PZT薄膜PZT硅基PZT热释电电离室更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信核科学技术更多>>
发文期刊：《纳米科技》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
硅基PZT热释电薄膜湿法刻蚀技术研究
《纳米科技》2009年第4期24-27,共4页梁庭 李珺泓 杜文龙 薛晨阳 张文栋 
基金项目：国家高技术研究发展计划（863计划）重大项目（2006AA040601）
通过对不同组合比的PZT薄膜湿法刻蚀技术研究，成功地配制出两种不同的刻蚀液，主要以HF、NH4F、HCl、NH4ClEDTA、HNO3为原料，NH4F、NH4Cl和EDTA的引入，有效地实现了刻蚀速率的可控性，并对PZ0.15R0.85、PZ0.3T0.7、PZ0.5T0.5和P1.1Z0...
关键词：PZT薄膜 热释电 湿法刻蚀 
硅基PZT热释电薄膜三方-四方相变的拉曼散射研究被引量：1
《纳米科技》2009年第3期54-57,共4页李珺泓 薛晨阳 梁庭 丑修建 谭秋林 张琼 
国家863重大项目（项目编号：2006AA040601）、电子测试技术国家级重点实验室开放基金、微米纳米加工技术国家级重点实验室开放基金
采用溶胶-凝胶法在硅衬底上成功制备出厚度约200nm的PZT薄膜,并以差热实验为基础,分别采用600℃、650℃和700℃三种退火温度,并对不同温度下的薄膜进行拉曼测试,分析三方-四方相变趋势,研究结果表明,中频区域的A1（2TO）振动模作为四方...
关键词：PZT 拉曼散射 相变 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部