柯才军

作品数：8被引量：28H指数：3
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：微透镜阵列反应离子刻蚀CCD图像传感器填充因子CCD更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《半导体光电》《红外与激光工程》《激光技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
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基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器被引量：1
《半导体光电》2005年第B03期64-66,共3页陈四海 潘峰 付小朝 柯才军 汪殿民 向思桦 赖建军 易新建 
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。...
关键词：柔性传感器 硅岛阵列 微光机电系统(MOEMS)技术 
SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究被引量：7
《半导体技术》2005年第6期28-31,共4页周宏 赖建军 赵悦 柯才军 张坤 易新建 
中国博士后研究基金(2002031254)
采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术。为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的函数。文中讨论了各种变量的变化对刻蚀速率和选择...
关键词：反应离子刻蚀 硅 刻蚀速率 选择比 
柔性仿生复眼成像系统探测机理模拟研究被引量：2
《半导体光电》2005年第B03期26-29,共4页向思桦 陈四海 潘峰 黄磊 赖建军 柯才军 易新建 
提出了一种用MEMS工艺制作的新型的柔性曲面复眼探测器模型，它具有如昆虫复眼一样的曲面多孔径结构，体积小巧，探测视场大，探测灵敏度高，而且可以合并几个探测器而实现360。全视场探测，它具有对物体角运动十分敏感的特点，能简单...
关键词：仿生柔性复眼 曲面微透镜 晶锥阵列 非连续光学部件 
聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2004年第10期13-15,共3页赖建军 柯才军 周宏 易新建 
中国博士后基金资助项目 (2 0 0 2 0 312 5 4 )
以聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷两类材料为例 ,研究了聚合物微透镜阵列的制备工艺以及与CCD图像传感器芯片的单片集成工艺 ,阐述了光学聚合物用于单片集成应具有的材料性能 。
关键词：单片集成 微透镜阵列 反应离子刻蚀 CCD图像传感器 光刻胶 芯片 聚合物材料 聚酰亚胺 聚二甲基硅氧烷 制备工艺 
微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成被引量：4
《半导体光电》2004年第3期183-187,共5页赖建军 柯才军 陈四海 易新建 
　介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用。微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显...
关键词：微透镜阵列 图像传感器 填充系数 
高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究被引量：2
《半导体技术》2004年第4期52-55,共4页柯才军 易新建 赖建军 
国家863高技术发展计划资助项目(41321030204)
为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺...
关键词：有效孔径比 CCD 图像传感器 石英微透镜阵列 反应离子刻蚀 
CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究
《激光技术》2004年第2期186-189,共4页柯才军 易新建 赖建军 
国家八六三高技术发展计划资助项目(4132 10 30 2 0 4 )
为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善...
关键词：CCD传感器 光学设计 微透镜阵列 填充因子 
提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究被引量：11
《红外与激光工程》2004年第2期209-212,共4页柯才军 易新建 赖建军 
国家863高技术发展计划资助项目(41321030204)
为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填...
关键词：微透镜阵列 填充因子 CCD 反应离子刻蚀 
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