周智猛

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：大连理工大学电气工程与应用电子技术系更多>>
发文主题：GAN实时监控系统GAN薄膜GAAS衬底氮化更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体光电》《计算机测量与控制》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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半导体薄膜生长实时监控系统的设计与应用
《计算机测量与控制》2003年第8期585-587,共3页周智猛 徐茵 刘国涛 
国家自然科学基金资助项目 (6 9976 0 0 8)
文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点。在此基础上 ,为实验室的ECR -MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统 ,介绍了系统的硬件结构以及在WIN98环境下用VB6 0实现生长实时监控系统软件的实现方法。经实验证明 ,系统保...
关键词：半导体薄膜生长 实时监控系统 设计 薄膜结构 半导体工业 
在GaAs衬底表面生长GaN过程中的氮化新方法被引量：1
《半导体光电》2003年第1期45-47,共3页刘国涛 徐茵 顾彪 秦福文 周智猛 
国家自然科学基金项目(69576003);863 - 7 1 5-01 1 - 0 0 3 3支持项目
　分析了在ECR MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺特点,在此基础上尝试了一种新的氮化方法处理衬底表面,并进行了一系列不同条件下的对比试验,以反射高能电子衍射(RHEED)和X射线衍射(XRD)对实验结果进行检测,发现在清洗的过程中加...
关键词：GAAS 氮化 外延生长 GAN薄膜 反射高能电子衍射 
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