赵杰

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供职机构:东南大学微电子中心更多>>
发文主题:多晶硅俄歇电子能谱晶粒间界深能级瞬态谱更多>>
发文领域:电子电信理学更多>>
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多晶硅晶粒间界的线性陷阱模型
《固体电子学研究与进展》1996年第4期336-343,共8页赵杰 张安康 魏同立 孙勤生 
采用深能级瞬态谱仪(DLTS)测试多晶硅n+p二极管势垒区深能级谱。利用DLTS实验结果,对G.Baccarina等提出的均匀陷阱模型进行修正,提出多晶硅晶粒间界的线性陷阱模型。运用该修正模型,可采用迭代法求得多晶硅...
关键词:深能级瞬态谱 线性陷阱模型 晶粒间界 多晶硅 
多晶硅/二氧化硅界面的俄歇谱分析
《固体电子学研究与进展》1996年第3期225-232,共8页赵杰 张安康 魏同立 陈明华 邵建新 成巨龙 
利用扫描俄歇微探针对多晶硅/二氧化硅界面进行分析,发现多晶硅/二氧化硅界面不是突变的,而存在着一个过渡区。根据多晶硅薄膜的成核理论,分析了该过渡区产生的原因,并利用"幸运载流子"模型,定量分析该过渡区对MOS结构热载...
关键词:俄歇电子能谱 超大规模IC 多晶硅 二氧化硅界面 
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