毛胜平

作品数：3被引量：15H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：MEMS微开关微机电系统技术双稳态闭锁更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《功能材料》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划高等学校科技创新工程重大项目更多>>
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UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
《功能材料》2010年第2期354-357,361,共5页毛胜平 汪红 刘瑞 汤俊 李雪萍 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA4Z326);高等学校科技创新工程重大项目培育资金资助项目(708037)
利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍...
关键词：MEMS UV—LIGA镍 电沉积 力学性能 单轴拉伸 
MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究被引量：2
《传感器与微系统》2009年第8期46-48,共3页刘瑞 汪红 汤俊 毛胜平 陈辉 丁桂甫 
国家"863"计划资助项目(2006AA4Z326)
研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其...
关键词：微机电系统 Ni—W合金 电沉积 力学性能 拉伸试验 
MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：9
《微细加工技术》2008年第5期45-49,共5页汤俊 汪红 刘瑞 毛胜平 李雪萍 王志民 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA4Z326;2006AA04Z308)
利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性...
关键词：微电铸 厚度均匀性 MEMS 有限元 
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