李雪萍

作品数：8被引量：31H指数：4
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：微机电系统微拉伸力学传感器塑性变形MEMS更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《微细加工技术》《功能材料》《机械强度》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金高等学校科技创新工程重大项目更多>>
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UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
《功能材料》2010年第2期354-357,361,共5页毛胜平 汪红 刘瑞 汤俊 李雪萍 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA4Z326);高等学校科技创新工程重大项目培育资金资助项目(708037)
利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍...
关键词：MEMS UV—LIGA镍 电沉积 力学性能 单轴拉伸 
微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究被引量：1
《机械强度》2009年第6期914-918,共5页刘瑞 汪红 李雪萍 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA4Z326)~~
研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung...
关键词：力传感器 ANSYS 微弹簧 
镍基碳纳米管复合电沉积薄膜的制备和机械性能分析被引量：6
《功能材料与器件学报》2009年第4期332-338,共7页诸利达 丁桂甫 刘瑞 汪红 李雪萍 
国家863计划(2006AA04Z308);国家自然科学基金(50775148)
采用直径为10～20 nm的碳纳米管作为增强相材料,采用间歇超声复合空气搅拌,通过复合电沉积技术,制备了碳管均匀分散,表面平整连续的镍基碳纳米管复合薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),对镀层的表面形貌进行了观察,并用表面轮廓仪,对镀层...
关键词：材料学 镍基复合材料 复合电沉积 碳纳米管 
MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：9
《微细加工技术》2008年第5期45-49,共5页汤俊 汪红 刘瑞 毛胜平 李雪萍 王志民 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA4Z326;2006AA04Z308)
利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性...
关键词：微电铸 厚度均匀性 MEMS 有限元 
一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作被引量：5
《微细加工技术》2008年第4期62-64,共3页刘瑞 汪红 丁桂甫 李雪萍 杨春生 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA4Z326)
针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性。
关键词：微弹簧 电铸 MEMS UV—LIGA 
微器件用Ni-W合金薄膜热稳定性的研究被引量：4
《功能材料》2008年第2期220-223,226,共5页刘瑞 汪红 姚锦元 李雪萍 丁桂甫 赵小林 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA4Z326);上海市科学技术委员会科技攻关资助项目(051111022)
研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响。结果表明,电镀工艺条件对硬度提高有限,热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高。同时研究对比了沉积态及550...
关键词：NI-W合金 电沉积 热稳定性 薄膜结构 热处理 
一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法被引量：2
《传感器与微系统》2007年第2期85-87,91,共4页李雪萍 丁桂甫 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 
中国博士后科学基金资助项目(2005038145)
介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型...
关键词：微机电系统 力学性能 薄膜 拉伸试验 
一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
《传感技术学报》2006年第05A期1595-1598,共4页李雪萍 丁桂甫 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 
博士后科学基金资助(2005038145)
坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制...
关键词：微机电系统 机械性能 坡莫合金 拉伸试验 
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