朱雪婷

作品数:6被引量:25H指数:4
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供职机构:昆明理工大学材料科学与工程学院稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室更多>>
发文主题:纳米多层膜射频磁控溅射AL显微硬度CU更多>>
发文领域:一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊:《南方金属》《真空科学与技术学报》《云南大学学报(自然科学版)》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划云南省自然科学基金国家自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
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溅射沉积Cu/W纳米多层膜结构与性能被引量:2
《稀有金属材料与工程》2014年第4期906-910,共5页郭中正 孙勇 段永华 彭明军 吴大平 朱雪婷 
国家高技术研究发展计划"863"资助项目(2009AA03Z512);国家自然科学基金(51201079);稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室开放研究项目(ZDS2010012B)
以单晶硅和聚酰亚胺为衬底,用磁控溅射沉积调制周期λ=25~150nm、调制比η=0.5~2的Cu/W纳米多层膜,用XRD、SEM、EDS、AFM、微力测试系统、纳米压痕仪和四探针法对多层膜微观结构、表面形貌和力学及电学性能进行研究。结果表明:...
关键词:CU W纳米多层膜 调制周期 调制比 屈服强度 电阻率 
磁控溅射制备Cu-Ta合金膜的研究被引量:2
《云南大学学报(自然科学版)》2013年第6期791-796,共6页杨宁 朱雪婷 尹兆益 吴大平 孙勇 
国家自然科学基金(50871049)
室温下采用磁控共溅射法,在硅衬底上制备了Cu-Ta非晶合金膜,利用AFM(atomic force microscopy)分析观察了溅射功率及沉积时间对薄膜形貌的影响,讨论了溅射功率对薄膜硬度及弹性模量的影响.实验发现,溅射功率越大,薄膜的致密平整性越好;...
关键词:Cu-Ta非晶合金膜 磁控溅射 原子力显微镜 表面形貌 
射频磁控溅射沉积Al/Al_2O_3纳米多层膜的结构及性能被引量:9
《真空科学与技术学报》2013年第5期477-482,共6页朱雪婷 孙勇 郭中正 段永华 吴大平 
国家863计划项目(2009AA03Z512);云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);云南省新材料制备与加工重点实验室开放基金资助(ZDS201012B)
运用射频磁控溅射技术在Si(100)基片及40Cr钢基体上制备了调制周期λ=60 nm,调制比η=0.25~3的Al/A12O3纳米多层膜。通过X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜、原子力显微镜、维氏显微硬度仪及MFT-4000多功能材料表面性能测试仪对...
关键词:射频磁控溅射 AL Al2O3纳米多层膜 调制比 硬度 摩擦系数 
磁控溅射沉积Cu-W薄膜的结构及性能被引量:4
《云南大学学报(自然科学版)》2012年第5期559-565,共7页朱雪婷 孙勇 郭中正 吴大平 刘国涛 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA03Z512);云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);云南省新材料制备与加工重点实验室开放基金资助项目(ZDS201012B)
以磁控溅射制备W原子数分数为2.1%~53.1%的Cu-W薄膜,用EDX、XRD、TEM、SEM、显微硬度计和四探针电阻仪对薄膜成分、结构和性能进行表征,研究薄膜中W含量的变化对薄膜结构及性能的影响.结果表明,Cu-W薄膜呈纳米晶结构,含x=2.1%~16.2%W...
关键词:Cu-W合金薄膜 亚稳固溶体 显微硬度 电导率 退火 
Cu-Nb复合材料的研究现状与展望被引量:4
《南方金属》2012年第2期1-6,共6页朱雪婷 孙勇 郭中正 吴大平 刘国涛 
国家863计划项目(2009AA03Z512);云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室开放基金项目资助(ZDS201012B)
介绍不同方法制备Cu-Nb复合材料的研究情况,如形变复合法、机械合金化法、物理气相沉积法.重点论述了不同方法制备的Cu-Nb复合材料的力学性能及电学性能,因其表现出优异的力学性能及电学性能而具有广阔的应用前景,它是具有高强高导铜基...
关键词:Cu—Nb复合材料 形变复合法 机械合金化法 力学性能 电学性能 
磁控溅射Cu-Nb和Cu-Mo薄膜结构与性能被引量:5
《材料导报》2012年第6期49-53,共5页刘国涛 孙勇 郭中正 吴大平 朱雪婷 
云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);国家863计划(2009AA03Z512);稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室开放研究项目(ZDS201012B)
采用磁控溅射制备含1.16%~15.8%(原子分数)Nb的Cu-Nb及含2.2%~27.8%Mo的Cu-Mo合金薄膜,井采用EDX、XRD、SEM、显微硬度仪和电阻计对薄膜的成分、结构和性能进行研究。结果表明,Nb和Mo的添加分别使Cu-Nb及Cu-Mo薄膜晶粒显著细化,Cu-Nb...
关键词:Cu-Nb合金薄膜Cu-Mo合金薄膜纳米晶结构热处理显微硬度 电阻率 
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