申雁鸣

作品数：9被引量：70H指数：6
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：薄膜应力薄膜厚度残余应力测量方法镀膜机更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信天文地球更多>>
发文期刊：《中国激光》《物理学报》《强激光与粒子束》《南京大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市光科技项目更多>>
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355nm增透膜的设计、制备与性能被引量：7
《中国激光》2008年第12期2026-2030,共5页余华 崔云 申雁鸣 齐红基 易葵 邵建达 范正修 
国家自然科学基金(60678004)资助项目
用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了355 nm LaF3/MgF2增透膜,并对部分样品进行了真空退火。采用Lambda 900光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱,并考察了其光谱稳定性;使用脉冲8 ns的355 nm激光测试了增透膜的激光损伤阈值(LIDT);...
关键词：薄膜 增透膜 热舟蒸发 真空退火 激光损伤阈值 
沉积速率对热舟蒸发LaF_3薄膜性能的影响被引量：6
《中国激光》2007年第11期1557-1561,共5页余华 崔云 申雁鸣 齐红基 邵建达 范正修 
国家自然科学基金(60678004)资助项目
用热舟蒸发方法在不同的沉积速率下制备了LaF3单层膜,并对部分单层膜进行了真空退火.分别采用X射线衍射(XRD),Lambda 900光谱仪和355 nm Nd∶YAG脉冲激光测试了薄膜的晶体结构、透射光谱和激光损伤阈值(LIDT),并通过透射光谱计算得到样...
关键词：薄膜 LaF3单层膜 沉积速率 退火 折射率 激光损伤阈值 
沉积温度对LaF_3薄膜性能的影响被引量：6
《强激光与粒子束》2007年第9期1507-1511,共5页余华 崔云 申雁鸣 齐红基 邵建达 范正修 
国家自然科学基金资助课题(60678004)
在189,255,277和321℃的沉积温度下用热舟蒸发方法制备了LaF3薄膜。通过X射线衍射(XRD)测试了薄膜的晶体结构;采用分光光度计测量了薄膜的透射光谱,并计算得到样品的折射率、消光系数和截止波长;利用光学干涉仪测试得到了薄膜的残余应力...
关键词：LaFa薄膜 沉积温度 晶体结构 折射率 残余应力 激光损伤阈值 
薄膜厚度对HfO_2薄膜残余应力的影响被引量：9
《稀有金属材料与工程》2007年第3期412-415,共4页申雁鸣 贺洪波 邵淑英 范正修 邵建达 
国家"863"计划项目资助(2005AA842040)
HfO2薄膜是用电子束蒸发方法制备的,利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力。对样品进行了XRD测试,讨论了膜厚对薄膜残余应力的影响。结果发现不同厚度HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随薄膜厚度的增加...
关键词：HFO2薄膜 残余应力 膜厚 电子束蒸发 
EGRET伽马射线源光变的数值分析
《南京大学学报（自然科学版）》2007年第1期19-28,共10页韩朝霞 张力 申雁鸣 
河南科技大学人才科学研究基金(05-033)
高能γ射线天文是当今天体物理学中重要的研究领域之一,康普顿γ射线天文台的高能γ射线望远镜(EGRET)提供了大量的观测数据,发现了271颗高能γ射线点源,其中170颗未被证认.目前的研究表明,一些未证认源可能是活动星系核,银盘附近的一...
关键词：Γ射线 观测 光变 数值分析 
沉积温度对电子束蒸发HfO_2薄膜残余应力的影响被引量：9
《中国激光》2006年第6期827-831,共5页申雁鸣 贺洪波 邵淑英 范正修 
国家863计划(2005AA842040)资助项目
采用电子束蒸发沉积方法在BK7玻璃基底和熔融石英基底上沉积了HfO2薄膜,研究了不同沉积温度下的应力变化规律。利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力。结果发现在所考察的实验条件下HfO2薄膜的残余应力均为...
关键词：薄膜 HFO2薄膜 残余应力 沉积温度 基底 电子束蒸发 
制备工艺条件对薄膜微结构的影响被引量：12
《中国激光》2006年第5期673-678,共6页田光磊 申雁鸣 沈健 邵建达 范正修 
上海市光科技项目(036105007)资助课题
用不同的方法在石英玻璃,YAG晶体,K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2,HfO2和TiO2薄膜。HfO2薄膜利用电子束蒸发(EB)、离子束辅助(IAD)和双束离子束溅射(DIBS)三种方法沉积。对其中的一些样品进行了不同温度下的退火处理,对所有...
关键词：薄膜 X射线衍射 晶相结构 迁移率 扩散激活能 
电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性被引量：19
《物理学报》2006年第6期3124-3127,共4页侯海虹 孙喜莲 申雁鸣 邵建达 范正修 易葵 
利用电子束蒸发工艺,以Ag层为衬底,沉积了中心波长为632·8nm的氧化锆(ZrO2)薄膜,膜层厚度在80—480nm范围内变化.研究了不同厚度样品的粗糙度变化规律和表面散射特性.结果发现,随着膜层厚度的逐渐增加,其表面均方根(RMS)粗糙度和总积...
关键词：氧化锆 表面粗糙度 标量散射 电子束蒸发 
沉积温度对HfO_2薄膜残余应力的影响被引量：10
《强激光与粒子束》2005年第12期1812-1816,共5页申雁鸣 贺洪波 邵淑英 范正修 邵建达 
国家863计划项目资助课题
用电子束蒸发方法制备了HfO2薄膜,根据镀膜前后基片曲率半径的变化,用Stoney公式计算了薄膜应力,讨论了沉积温度对薄膜残余应力的影响.结果发现,HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随沉积温度的升高先增大后减小,在280℃左右出现极大...
关键词：HFO2薄膜 残余应力 沉积温度 微结构 X射线衍射 
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