杜少博

作品数：3被引量：22H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：膜结构MEMSMEMS压力传感器高深宽比光刻工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《电子工艺技术》更多>>
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基于高温压力传感器的耐高温金属体系
《电子工艺技术》2024年第5期21-23,35,共4页杜少博 何洪涛 
从制约高温压力传感器发展的耐高温金属体系研究出发,采用钨/氮化钽/铂(W/TaN/Pt)作为金属布线的电传导层,开发出适用于500 ℃高温环境下稳定工作的金属薄膜,实现电信号稳定传输,有效避免相邻金属层之间相互扩散或合金导致的电性能失效...
关键词：高温压力传感器 高温金属 氮化钽 阻挡层 
一种新型压力传感器结构制备工艺
《微纳电子技术》2015年第5期294-298,303,共6页何洪涛 杜少博 王伟忠 
提出一种使用MEMS双层掩膜完成自对准刻蚀的工艺方法,藉此实现了在深腔结构内部对高深宽比硅压力传感器结构的精细加工。该工艺通过两次连续的平面内光刻工艺,使制作在衬底上的薄膜材料如氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)及光刻胶等形成复...
关键词：压力传感器 岛膜结构 深槽光刻 微电子机械系统(MEMS) 自对准 
一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器被引量：22
《微纳电子技术》2015年第4期233-239,255,共8页何洪涛 王伟忠 杜少博 胡立业 杨志 
提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSY...
关键词：SIC 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 高温 ANSYS软件 
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