赵晓辉

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：超大规模集成电路淀积平坦化双层金属布线中介更多>>
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双层金属布线中介质平坦化技术被引量：1
《微处理机》2004年第2期8-9,11,共3页赵晓辉 李宏 孙向然 
本文主要叙述了双层金属布线中介质平坦化的工艺及原理。
关键词：超大规模集成电路 双层金属布线 平坦化 腐蚀 淀积 
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