周然

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文主题：微电极阵列MEMS技术视觉假体柔性衬底MEMS更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信生物学医药卫生更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
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基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究被引量：2
《传感器与微系统》2010年第5期134-136,共3页周然 陈迪 黄闯 陈翔 刘景全 朱军 
设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实...
关键词：生物电极 视觉假体 MEMS技术 
新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极
《微纳电子技术》2010年第2期105-109,共5页徐旻 陈迪 周然 陈翔 朱军 刘景全 
国家863计划资助项目(2006AA04Z356;2006AA04Z308)
介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金...
关键词：MEMS 生物电极 牺牲层 聚酰亚胺 光刻 
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