陈霞

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：天津理工大学电气电子工程学院更多>>
发文主题：CR磁性研究ZNO基稀磁半导体磁控溅射法ZN更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《天津理工大学学报》更多>>
所获基金：天津市自然科学基金更多>>
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Cr掺杂浓度对ZnO基稀磁半导体生长结构的影响被引量：1
《天津理工大学学报》2008年第3期18-20,共3页张俊萍 陈希明 李杰 陈霞 
天津市自然科学基金重点项目(06YFJZJC00100);天津市教委科技发展重点基金(2004ZD01)
采用射频磁控溅射设备在本征抛光Si(100)衬底上沉积Cr掺杂ZnO薄膜,分析不同掺杂浓度对薄膜的生长结构的影响.分别用XRD、SEM和XRF来表征薄膜的晶相结构、表观形貌和掺杂浓度.实验结果表明,掺杂浓度为2.10%的Zn1-xCrxO薄膜,出现了更好C...
关键词：射频磁控溅射法 交替溅射 Cr掺杂ZnO薄膜 
Zn_(1-x)Cr_xO稀磁半导体薄膜的制备及磁性研究被引量：1
《天津理工大学学报》2008年第3期21-22,共2页陈霞 陈希明 李杰 张俊萍 
天津市自然科学基金重点项目(06YFJZJC00100)
采用磁控交替溅射方法和真空退火处理制备了Zn1-xCrxO薄膜,利用全自动X射线衍射仪和物理性质测量仪对样品的结构、晶粒尺寸及磁性等进行了测量和标度,得到了具有室温磁性的掺Cr的氧化锌基稀磁半导体.
关键词：稀磁半导体 氧化锌 掺杂 磁控溅射法 
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