张立东

作品数：3被引量：12H指数：2
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供职机构：四川大学更多>>
发文主题：高熵合金扩散阻挡层工作气体溅射溅射功率更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料》《金属学报》《四川大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
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AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性被引量：4
《金属学报》2013年第12期1611-1616,共6页张立东 王飞 陈顺礼 汪渊 
国家自然科学基金项目51171124和50771069;教育部新世纪人才基金NCET-08-0380;四川省科技支撑计划基金项目07FG001-017资助~~
通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(A1CrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明Cu/(A1CrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜...
关键词：高熵合金 双层扩散阻挡层 热稳定性 
晶体AlCrTaTiNi高熵合金薄膜被引量：8
《功能材料》2012年第3期394-397,共4页张立东 刘春海 孙化冬 张伟 
用多靶射频磁控溅射技术,在纯氩气氛中不同溅射功率(40～100W)下在Si(100)基底上制备晶体AlCrTaTiNi高熵合金薄膜。同时用四点探针(FPP)X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及其附带的能谱分析仪对薄膜的电性能和微结构进行表...
关键词：高熵合金 晶粒尺寸 溅射功率 膜厚 
常温低氮氩比下(002)择优取向氮化铝薄膜的制备
《四川大学学报（自然科学版）》2011年第6期1386-1390,共5页孙化冬 彭冬香 张伟 张立东 刘望 汪渊 
国家自然科学基金(50771069;50871083);四川省科技支撑计划基金(2008FZ0002);教育部新世纪人才基金(NCET-08-0380)
常温下采用反应射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备出(002)单一择优取向柱状结构的氮化铝薄膜,通过XRD分析发现溅射功率为80W、溅射气压为0.20 Pa、氮气与氩气比为5%时,氮化铝(002)晶体衍射峰最强,通过FESEM表面及截面分析表明在此条件...
关键词：AIN薄膜 射频反应磁控溅射 择优取向 沉积速率 
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