高阳

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
发文主题：遗传算法SVM蝴蝶翅膀刻蚀工艺刻蚀更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《半导体技术》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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衍射干涉光刻研究
《半导体技术》2012年第5期363-366,共4页高阳 廖广兰 谭先华 史铁林 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724204);国家自然科学基金资助项目(50805061;50975106)
光刻就是将掩模版上的图形转移到基底的过程,广泛应用于微电子、微机械领域。衍射现象是光刻工艺无法避免的问题,当掩模图形尺寸接近光源波长时,就会产生衍射干涉现象。利用这一现象,可以产生小于掩模图形尺寸的图形。采用严格耦合波分...
关键词：严格耦合波分析算法 光刻机 衍射干涉 干法刻蚀 亚微米 
仿Morpho蝴蝶翅膀微纳结构的优化设计被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2012年第5期10-14,共5页夏奇 任飞多 高阳 史铁林 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724204);国家自然科学基金资助项目(90923019;51105159)
鉴于Morpho蝴蝶翅膀呈耀眼蓝色光泽与蝶翅表面的微纳结构有密切联系,提出了一种服务于仿生微纳制造的优化设计方法.根据生物结构的形状与尺寸,结合微纳制造中的工艺约束,建立了便于制造的仿生模型.使用严格耦合波分析对仿生模型进行光...
关键词：微纳结构 Morpho蝴蝶 结构色 严格耦合波分析 遗传算法 优化设计 
基于SVM的刻蚀工艺失效状态识别被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2011年第7期80-83,共4页高阳 廖广兰 曹艳波 史铁林 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724204);国家自然科学基金资助项目(50805061;50975106)
针对反应离子刻蚀工艺,研究其状态监测与识别.采用主元分析(PCA)方法对原始数据进行降维,提取出有效的特征子集,再应用SVM建立失效状态的诊断识别模型,分析模型参数对失效状态的分类识别效果.采用主元分析法进行数据降维,从多监控量中...
关键词：刻蚀工艺 主元分析 支持向量机 状态识别 模式识别 
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