张旭辉

作品数：4被引量：8H指数：2
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一种汽车碰撞试验用低阻尼宽频响加速度传感器被引量：4
《微纳电子技术》2017年第5期329-335,341,共8页肖咸盛 杨拥军 卞玉民 张旭辉 
基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 低阻尼 压阻 加速度传感器 碰撞试验 绝缘体上硅(SOI) 
热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用
《微纳电子技术》2015年第8期516-520,共5页张旭辉 徐爱东 
微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件,其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路,对其微加热器进行闭环温度控制,相比传统的模拟闭环控制电路,该电路...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 热∑-△调制 气体传感器 微加热器 微热板 温度控制 
低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法被引量：2
《微纳电子技术》2015年第2期108-112,共5页张旭辉 徐爱东 卞玉民 
提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测...
关键词：微机电系统(MEMS) 压阻 加速度传感器 汽车碰撞 谐振频率 阻尼比 
微机械热对流加速度传感器的频响特性及补偿被引量：2
《微纳电子技术》2013年第5期310-315,共6页徐爱东 张旭辉 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA042205)
在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上,对传感器的瞬态响应进行了分析,建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型。结合有限元仿真结果,模型预测的热对流加速度传感器的频响与实际的传...
关键词：加速度传感器 热对流 有限元仿真 频率响应 频率补偿 
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