李国旗

作品数：14被引量：30H指数：4
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发文主题：激光MOPA二维码硅晶圆铝合金更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
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355 nm紫外激光在硅晶圆上标识二维码的工艺研究
《应用激光》2023年第5期70-76,共7页陈媛 张玲玲 李国旗 杜远超 舒天娇 吴鸯 
上海市科委资助项目(19511130500)。
利用紫外纳秒标识系统对硅晶圆表面进行二维码直接标识试验研究。采用控制变量法,分别研究不同的脉冲占空比、重复频率、光斑重叠率对标识材料的热损伤、表面形貌以及二维码识读效果的影响规律。研究结果表明,脉冲占空比和重复频率对标...
关键词：激光标识 硅晶圆 热损伤 识读率 
硅晶圆激光标识工艺的研究被引量：1
《应用激光》2023年第4期80-86,共7页李国旗 张玲玲 陈宇 
上海市科学技术委员会资助项目(19511130500)。
聚焦开发清晰、无飞溅、无碎屑且深度满足半导体晶圆后道加工工序要求的激光标识工艺,实现清晰可辨、高洁净度的硅晶圆激光标识。采用波长532 nm的激光器研究平均功率、脉冲重复频率和扫描速度等激光工艺参数对晶圆标识质量的影响,借助...
关键词：激光标识 标识深度 硅晶圆 532 nm激光 
基于1066 nm光纤激光对裸硅晶圆与镀膜晶圆的标识工艺研究
《应用激光》2023年第4期100-105,共6页舒天娇 张玲玲 杜远超 李国旗 陈媛 周伟 马永新 高垠芮 胡豪威 陈宇 
上海市科学技术委员会科研计划项目(19511130501)。
针对SEMI标准对12寸(约300 mm)薄晶圆标识的要求,采用1066 nm光纤激光晶圆标识系统对裸硅晶圆与镀膜晶圆进行激光标识工艺的研究。通过控制变量法改变激光器的功率百分比,分别在两种晶圆上标记Dot样式的SEMI字体,并对标识的质量和识读...
关键词：1066 nm光纤激光器 裸硅晶圆 镀膜晶圆 OCR读码 
基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究被引量：1
《应用激光》2023年第2期93-98,共6页舒天娇 杜远超 李国旗 陈媛 张玲玲 马永新 高垠芮 胡豪威 陈宇 
上海市科学技术委员会科研计划项目(19511130500)。
为研究聚焦系统对晶圆标识工艺的影响,搭建以1 066 nm的声光调Q脉冲光纤激光器为光源,分别使用普通F-Theta透镜和远心F-Theta透镜的晶圆激光打标系统,使用相同的工艺参数分别在晶圆表面进行点阵标识,研究两种聚焦系统下晶圆的烧蚀阈值...
关键词：F-Theta透镜 远心F-Theta透镜 晶圆标识 烧蚀阈值 离焦量 
基于正交试验的激光标识工艺研究被引量：1
《应用激光》2022年第6期56-61,共6页骆公序 陈媛 张玲玲 李国旗 杜远超 舒天娇 
2019年工业互联网创新发展工程-工业互联网标识解析二级节点(航空航天行业应用服务平台)项目(招标编号:TC190A3X8-16)。
采用1060 nm光纤打标机在2024铝合金表面进行方形标识,主要研究扫描速度、填充间隔、激光平均功率等工艺参数对铝合金材料表面标识效果的影响。基于正交试验的方法,根据3因素5水平正交表设计激光加工的工艺参数,利用色差仪和超景深三维...
关键词：激光直接标识 表面粗糙度 色差 正交试验 
基于1060 nm MOPA激光器直接标识铝合金(2024)的形貌及其机理分析被引量：1
《应用激光》2021年第5期1011-1016,共6页陈维 杜远超 张玲玲 卢鹄 陈保国 刘志杨 李国旗 陈媛 舒天娇 杨文杰 
国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金项目(70560)。
采用1 060 nm MOPA激光器对铝合金(2024)进行标识。研究了不同功率下DM码的质量等级和对比度,使用扫描电镜(SEM)观察了标识的表面形貌,使用能谱仪分析了标识表面的成分组成。通过SEM分析,得到在DM码质量等级较高的标识表面,材料被熔化...
关键词：激光直接标识 MOPA Al2024 形貌分析 机理 
激光直接物标标识铝合金(2024)工艺参数对表面粗糙度影响的研究被引量：2
《应用激光》2021年第4期787-792,共6页陈保国 杜远超 张玲玲 卢鹄 陈洁 陈维 刘哨巡 李强 李国旗 陈媛 舒天娇 杨文杰 
聚焦激光直接物标标识铝合金(2024)工艺中,功率、填充间隔和重复频率等工艺参数对铝合金表面粗糙度的影响,旨在从形貌、产物成分两方面分析工艺参数与粗糙度之间的影响规律。首先采用1060 nm主控振荡器的功率放大激光器(master oscillat...
关键词：激光直接物标标识 MOPA 铝合金2024 表面粗糙度 形貌分析 
激光直接物标标识铝合金(2024)力学性能的研究
《应用激光》2021年第4期822-825,共4页陈保国 杜远超 张玲玲 卢鹄 陈洁 陈维 刘哨巡 李强 李国旗 陈媛 舒天娇 杨文杰 
为研究激光直接物标标识技术(laser direct part marking, DPM)对铝合金2024力学性能的影响,对标识后的铝合金2024进行了标识深度测量、显微硬度检测、静力学拉伸和高周疲劳试验。研究结果表明:不同工艺参数下的标识深度相差很大,深度范...
关键词：激光直接标识 铝合金2024 拉伸性能 疲劳性能 
基于MOPA标识系统的高质量激光直接标识铝合金的工艺研究被引量：7
《应用激光》2020年第4期703-710,共8页陈媛 张玲玲 陈保国 李国旗 张瑄珺 王健超 陈维 宋波 李昊 张增焕 
国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金(项目编号:70560)
激光直接零部件标识(Laser Direct Part Marking)技术是一种在工业环境中证实可行,可实现高度自动化且绿色环保的标识技术,已经成为工业产品追溯中产品标识的首选手段。本文基于控制灵活、激光参数调节范围更大的MOPA(MOPA,主控振荡器...
关键词：激光直接标识 MOPA AL2024 二维码质量 激光标识工艺 
便携式405 nm激光诱导荧光检测仪的研制和性能评估被引量：6
《应用激光》2019年第6期1035-1040,共6页张玲玲 陈媛 王彩霞 王春霞 李国旗 孙杰 王健超 贾锋 
上海市科委资助项目(项目编号:19441911700,16142200400)。
研制了一款模块化便携式的激光诱导荧光的检测仪。本检测仪以光纤耦合的稳谱405 nm LD激光器作为激发光源,以改进的共聚焦光学结构的荧光探头作为荧光的收集模块,微型光栅光谱仪作为荧光光谱分析模块。该检测仪采用模块化结构,具有体积...
关键词：LD激光器 激光诱导荧光 荧光检测 
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