张瑞

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
发文主题：波形MEMS离子迁移谱仪离子迁移谱微电子机械系统更多>>
发文领域：核科学技术机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金合肥物质科学研究院知识创新工程领域前沿项目中国科学院“百人计划”更多>>
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一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器被引量：1
《微纳电子技术》2011年第3期177-182,共6页钱玉洁 高理升 王焕钦 马以武 孔德义 熊剑平 王英先 张瑞 
国家自然科学基金重点项目(60635040)
为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体...
关键词：微位移传感器 厚膜电路 陶瓷电容 分辨率 集成优化 
基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪被引量：6
《微纳电子技术》2011年第2期112-117,共6页陈池来 赵聪 王电令 程玉鹏 孔德义 王焕钦 高钧 高理升 林新华 王英先 殷世平 张瑞 
国家自然科学基金资助项目(61004133;60871037);中国科学院合肥物质科学研究院知识创新工程领域前沿项目
简要回顾了离子迁移谱技术的发展历程,叙述了常规离子迁移谱的局限性。阐述了基于MEMS工艺的新型高场不对称波形离子迁移谱技术,该技术以物质离子的离子迁移率在高场下的非线性变化特性为基础,可实现对物质离子的空间分离。以MEMS技术...
关键词：高场不对称波形离子迁移谱 非线性离子迁移率 微电子机械系统 离子迁移谱 快速检测 
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