张金英

作品数：5被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：MEMS气体传感器多针板结构SF6更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《微纳电子技术》更多>>
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单针–板结构负电晕放电器件特性研究被引量：3
《智能电网》2017年第8期812-816,共5页陈硕 张金英 杨天辰 李璐 郑天祥 
基于电晕放电原理的气体传感器利用局部高电场将样本气体电离,根据电离特性进行气体识别。宏观尺度下的电晕放电特性研究较多,但对于微尺度下的电晕放电特性研究尚未深入。以直径为20μm的镍铬丝作为放电电极,搭建了单针–板结构电晕放...
关键词：单针–板结构 负电晕放电 电极间距 气体传感器 
ZnO修饰多针-板结构负电晕放电气体传感器被引量：1
《微纳电子技术》2017年第7期458-464,共7页杨天辰 张金英 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 
国家自然科学基金资助项目(61271148)
基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别。采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多针-板结构电晕放电气体传感器。研究了...
关键词：负电晕放电 微电子机械系统(MEMS) 硅尖阵列 ZnO修饰 气体传感器 
基于硅尖阵列的SF_6传感器制备及特性研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2017年第7期15-19,共5页李璐 张金英 杨天辰 何秀丽 陈硕 郑天祥 
针对电气设备中SF_6气体泄漏监测的需求,设计制备了基于硅尖阵列的SF_6传感器。完成了基于硅尖阵列的多针-板型负电晕放电气体传感器结构设计,主要包括硅尖阵列负电极、Au平板正电极、绝缘隔离层3部分。利用物理场有限元仿真软件COMSOL...
关键词：硅尖阵列 多针-板 MEMS 负电晕放电 SF6传感器 
MEMS负电晕放电气体传感器被引量：2
《微纳电子技术》2016年第8期508-514,共7页张金英 杨天辰 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 
国家自然科学基金资助项目(61471341)
设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×10^(...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 气体传感器 硅尖阵列 负电晕放电 多针-板结构 
基于负电晕放电原理的MEMS SF_6气体传感器研究被引量：2
《智能电网》2016年第6期618-622,共5页陈硕 张金英 李璐 郑天祥 
作为高压、特高压领域几乎唯一的绝缘和灭弧介质,SF6的泄漏对电力设备的安全运行和电力系统的稳定可靠造成威胁,而且还会造成人员伤害和大气污染的恶性后果。因此,电力设备对电气设备中SF6气体泄漏的监测必不可少。主要阐述基于负电晕...
关键词：负电晕放电 SF6传感器 微机电系统 微电极阵列 
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