许姣

作品数：2被引量：10H指数：2
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高温压力传感器无引线封装研究被引量：4
《遥测遥控》2023年第6期126-131,共6页许姣 赵晨曦 杨健 郝文昌 王建 尹玉刚 
国家重点研发项目(2012YFB3203300)。
针对高温压力传感器有引线封装在恶劣环境下的弊端,本文对无引线封装进行研究。首先,对无引线封装结构进行设计,并明确了适用无引线封装的高温压力敏感芯片结构;其次,研究了耐高温低应力气密封装工艺、低应力黏片工艺、无引线电气互联工...
关键词：无引线封装 气密封装 高温压力传感器 
4H-SiC MEMS高温电容式压力敏感元件设计被引量：6
《纳米技术与精密工程》2015年第3期179-185,共7页曹正威 尹玉刚 许姣 张世名 邹江波 
为了研制Si C高温电容式MEMS压力敏感元件以满足高温环境下压力参数测量,设计了一种基于P型4H-Si C减薄抛光工艺制备高温变间隙电容式压力传感器敏感元件结构方法;通过数值仿真,研究了敏感元件的性能,得到敏感元件输出电容随压力、温度...
关键词：4H-SIC MEMS 高温压力传感器 设计仿真 高温测试 
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