孟莹

作品数：4被引量：5H指数：1
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：红外光源表面活化键合界面室温MEMS更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《激光与红外》《哈尔滨工业大学学报》《微纳电子技术》《机械工程学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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Pt催化甲酸气氛下的碳化硅低温键合
《哈尔滨工业大学学报》2022年第12期103-107,共5页尹振 徐杨 李俊龙 孟莹 赵雪龙 须贺唯知 王英辉 
中国科学院微电子所所长基金(51Y5SF02F001);中国科学院人才项目(29Y6YB02F001);昆山微电子技术研究院自研项目(0202060001,0202060003)。
为实现碳化硅(SiC)在300℃以下的低温键合,研究了以Cu和Au作为键合中间层,利用Pt催化甲酸气氛预处理金属膜表面并为键合提供还原性保护气氛的低温键合方法。首先,研究了带有Cu金属层的SiC晶片在氮气、甲酸气氛以及Pt催化甲酸气氛下的键...
关键词：碳化硅(SiC) 低温键合 甲酸 催化还原 金属中间层 
表面活化室温键合技术研究进展被引量：4
《机械工程学报》2022年第2期136-146,共11页张洪泽 田野 孟莹 母凤文 王鑫华 刘新宇 
国家自然科学基金资助项目(62004213)。
随着半导体技术领域对低温晶圆键合技术的需求不断增长,表面活化键合(Surface activated bonding,SAB)技术开始被广泛研究。与其他键合方式相比,即使在室温下,表面活化键合也能完成牢固的键合,对于常规半导体、金属材料等非常有效。但对...
关键词：晶圆键合 键合界面 表面活化键合 室温 
面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计被引量：1
《激光与红外》2017年第11期1386-1391,共6页刘卫兵 明安杰 谭秋林 孟莹 孙西龙 毛海央 王玮冰 熊继军 
国家自然科学基金项目(No.61335008;No.61601455);国家高技术研究发展计划项目(No.2015AA042605)资助
针对常规TO封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足,基于自研的MEMS红外光源结构,提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构,以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路中的辐射特...
关键词：MEMS红外光源 气体传感器 抛物面反射镜 准直透镜 辐射增强 
面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能
《微纳电子技术》2017年第6期379-383,389,共6页刘卫兵 明安杰 谭秋林 孟莹 孙西龙 毛海央 王玮冰 熊继军 
国家自然科学基金资助项目(61335008;61601455);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA042605)
为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗。采用非平衡磁控溅射工艺制备了...
关键词：非晶碳 红外光源 辐射自增强 辐射性能 吸收率 
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