李金

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：氮化铝薄膜高温压力传感器硅单晶基片多晶硅更多>>
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高温压力传感器用多晶硅-AlN-硅单晶基片被引量：1
《仪表技术与传感器》2007年第5期7-10,共4页李辉 孙以材 潘国峰 李金 李鹏 
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制。此基片可供制造高温力学量传感器。其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN进行绝缘隔离。AlN与硅的热膨胀系数接近,附着力高,耐击穿性好。又具有高化学稳定性,高热导率,对于压力...
关键词：多晶硅 氮化铝薄膜 高温压力传感器 直流磁控反应溅射 
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