吴小丽

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：华中光电技术研究所更多>>
发文主题：磁控溅射保护膜红外双波段双波段薄膜折射率更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
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基于凸面光栅的Offner型编码孔径多光谱成像光学系统设计被引量：1
《光学与光电技术》2019年第3期77-82,共6页吴小丽 杨晓燕 余徽 
基于Offner型同心结构特点,设计了一种工作波段范围3.0~5.0μm,F/4的双通道中波红外编码孔径多光谱成像系统,该系统由望远物镜和Offner型分光系统组成,其中Offner型分光系统采用一个凸面光栅和一个球面反射镜实现了编码孔径系统的分光...
关键词：光学设计 成像光谱仪 Offner型光学系统 编码孔径多光谱成像 凸面光栅 
靶压对磁控溅射GeC薄膜折射率的影响被引量：2
《光学与光电技术》2009年第4期27-29,共3页何光宗 熊长新 李钱陶 吴小丽 
采用磁控溅射技术,以碳氢气体和氩气为工作气体,在Ge基底上制备了GeC薄膜。研究了靶压对薄膜折射率的影响,发现在较高的靶压下制备的GeC薄膜具有较低的折射率,而在较低的靶压下则得到了高折射率的薄膜。通过控制溅射靶压,制备了折射率在...
关键词：靶压 GeC薄膜 磁控溅射 折射率 
常温溅射DLC膜的工艺研究
《光学与光电技术》2009年第4期30-32,共3页吴小丽 熊长新 李钱陶 何光宗 
常温下,采用磁控溅射技术成功地在Ge基底上制备了类金刚石膜,并研究了溅射功率、碳氢气体与氩气流量比、溅射频率、基底负偏压等工艺参数对类金刚石膜沉积速率的影响和薄膜的光学性能。结果表明:溅射功率、溅射频率、碳氢气体与氩气流...
关键词：磁控溅射 类金刚石膜 沉积速率 透过率 
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