李亚丽

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供职机构：河北半导体研究所更多>>
发文主题：分子束外延共振隧穿二极管量子效应隧穿更多>>
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隧穿型量子效应薄膜材料制备技术
《真空科学与技术学报》2007年第z1期15-17,共3页商耀辉 武一宾 卜夏正 牛晨亮 王建峰 李亚丽 张雄文 
探讨了隧穿型量子效应薄膜材料制备技术,并应用分子束外延方法制备了典型结构外延材料GaAs基共振隧穿二极管,经过器件验证,得到了较好的结果.重点讨论了关键制备技术,包括束流精细控制和间歇式生长方式,主要是为了生长出更接近完美的晶...
关键词：分子束外延 共振隧穿二极管 量子隧穿效应 
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