陈正强

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：广西科技大学电子与信息工程学院更多>>
发文主题：纯化装置粉体纯化硅硅粉更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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硅粉在鞘区内的纯化速率模型被引量：2
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第5期53-55,67,共4页许淑慧 王敬义 冯信华 陈正强 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
分析了粉粒在反应区的沉降过程,导出了沉降的最大速度及时间的公式,给出了离子在不同位置上的平均动能及粒子通量.还对高能中性粒子在鞘区内的行为进行了详细的分析并得出在不同位置上的平均动能和通量.它可用于计算空间不同位置处包括...
关键词：离子刻蚀 等离子体纯化 阴极鞘层 硅粉粒 
粉体纯化装置及工艺研究被引量：6
《稀有金属材料与工程》2005年第10期1653-1656,共4页王敬义 尹盛 陶甫廷 吴京波 冯信华 苏睿 许淑慧 陈正强 陈文辉 罗文广 
国家自然科学基金资助项目(10265002)
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器。工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间。实验结果表明:该设备...
关键词：等离子体纯化 纯化反应 表面刻蚀 
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