陕西省自然科学基金(2007E208)

作品数:4被引量:3H指数:1
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新型片状磷平面扩散源的应用研究
《固体电子学研究与进展》2009年第2期297-301,共5页王彩琳 赵万里 刘永祥 
陕西省自然科学基金资助项目(项目编号:2007E208)
分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并...
关键词:扩散 片状固态源  均匀性 
5kV非对称GCT的特性分析与设计被引量:2
《电力电子技术》2008年第12期46-48,共3页王彩琳 孙永生 张建仙 
陕西省自然科学基金项目(2007E208);陕西省教育厅专项科研计划项目(08JK379);西安理工大学博士启动基金项目~~
简述了非对称门极换流晶闸管(A-GCT)的结构特点及其工作原理,分析了A-GCT结构参数之间的相互制约关系,给出了高压A-GCT的设计参考。并借助ISE软件对A-GCT的阻断特性、导通特性和开关特性进行了模拟。提取了5kV的A-GCT纵向结构设计参数。
关键词:晶闸管 换流:特性/非对称门极换流晶闸管 
门极换流晶闸管关键技术的研究
《电力电子技术》2008年第12期52-56,共5页王彩琳 
陕西省自然科学基金项目(2007E208);陕西省教育厅专项科研计划项目(08JK379);西安理工大学博士启动基金项目~~
通过对门极换流晶闸管(GCT)关键技术的研究,提出了一种沟槽隔离的逆导型GCT结构。借助MEDICI软件,模拟了GCT的各项特性及其在内部的微观现象,对透明阳极、缓冲层、隔离区等关键结构参数进行了优化设计,并对其制作工艺进行分析。研究结...
关键词:晶闸管 换流/门极换流晶闸管 透明阳极 沟槽隔离 
门极换流晶闸管(GCT)击穿机理的研究被引量:1
《电子器件》2008年第2期449-452,共4页王彩琳 高勇 马丽 刘静 
陕西省自然科学基金资助(2007E208);西安理工大学科研基金资助(105-210610)
简述了门极换流晶闸管(GCT)的耐压结构及其特点。利用MEDICI软件模拟和分析了具有不同结构参数的四种器件的阻断能力和通流能力,研究了GCT的击穿机理。结果表明,GCT的击穿实质上属于场阻止(FS)型击穿,并非穿通(PT)型击穿。从而指出以往...
关键词:电力半导体器件 门极换流晶闸管 场阻止层 透明阳极 击穿 
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