国家教育部博士点基金(20040487026)

作品数：5被引量：15H指数：3
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相关作者：刘胜张鸿海范细秋贾可甘志银更多>>
相关机构：华中科技大学中国电子科技集团第十三研究所浙江海洋学院更多>>
相关期刊：《武汉理工大学学报》《中国机械工程》《半导体技术》《机械科学与技术》更多>>
相关主题：MEMS仿生技术微机电系统药物释放系统微针更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术动力工程及工程热物理更多>>
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一种高效率低成本制作微透镜阵列的方法被引量：2
《机械科学与技术》2006年第9期1053-1055,1104,共4页范细秋 张鸿海 甘志银 刘胜 
国家自然科学基金项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20040487026)资助
通常采用的多次掩模光刻和离子束刻蚀制作微透镜阵列的方法不但制作效率低,而且易产生较大的制作误差。提出了一种在硅基底聚合物薄膜上热压制作微透镜阵列的工艺方法,并利用自制的热压印设备进行了热压制作衍射微透镜阵列的试验,讨论...
关键词：热压印 微透镜阵列 衍射效率 
用于药物释放系统的柔性微针研制被引量：3
《半导体技术》2005年第12期19-22,25,共5页马斌 徐永清 甘志银 张鸿海 刘胜 
国家自然科学基金项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20040487026)
提出了一种基于MEMS技术在柔性基底上制造微针的工艺技术,这是一种高效、安全和无痛的全新给药方式――微针阵列。该微针阵列能够适用于平面或非平面物体表面,对大分子药剂、蛋白质或者疫苗合成药剂也能够使用。
关键词：微电子机械系统 微针阵列 柔性基底 药物释放系统 
基于“荷花效应”的MEMS功能表面仿生技术被引量：6
《武汉理工大学学报》2005年第10期47-49,59,共4页范细秋 张鸿海 贾可 刘胜 
国家自然科学基金(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金(20040487026)
微机电系统(MEMS)正在成为新崛起的大规模产业和各国政府竞争的至高点,但随着其特征尺度的日趋减小,表面效应显著增强,由此引起的摩擦磨损、表面粘附等问题成为制约MEMS发展的瓶颈。论证了“荷花效应”应用于MEMS领域仿粘减摩的机理,探...
关键词：微机电系统(MEMS) 表面效应 荷花效应 仿生功能表面 
分子动力学模拟研究具有"荷花效应"的微流通道
《中国机械工程》2005年第z1期90-93,共4页贾可 张鸿海 范细秋 刘胜 
国家自然科学基金资助项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040487026)
采用非平衡分子动力学模拟(NEMD)分析了流体在具有"荷花效应"的微流通道中的边界滑移现象.选择不同尺度的纳米级图样、通道管壁厚度、不同的密度和温度分别进行了多次模拟分析,根据模拟结果对比分析了以上各参数对流体流动方向的速度分...
关键词：荷花效应 微流通道 速度滑移 非平衡分子动力学模拟(NEMD) 
宽范围高对准精度纳米压印样机的研制被引量：4
《中国机械工程》2005年第z1期64-67,共4页范细秋 张鸿海 胡晓峰 贾可 刘胜 
国家自然科学基金资助项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040487026)
传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100nm以下图案...
关键词：纳米压印光刻 对准 莫尔干涉法 
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