国家科技重大专项(2011ZX02403-004)

作品数：22被引量：33H指数：3
导出分析报告
相关作者：杨铁牛周玉林关振群程嘉季林红更多>>
相关机构：五邑大学清华大学大连理工大学英特工程仿真技术(大连)有限公司更多>>
相关期刊：《计算力学学报》《机械科学与技术》《清华大学学报（自然科学版）》《科技纵览》更多>>
相关主题：真空PECVD变结构半导体流速测量更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程理学电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
激光模切工位中风刀阻断除尘数值模拟
《机械科学与技术》2022年第12期1894-1899,共6页杨铁牛 胡金洲 杜华娜 林浩良 
国家科技重大专项项目(2011ZX02403-004)。
为了验证锂离子电池激光模切工位中除尘系统的可靠性,以激光模切工位腔体中喷射颗粒运动过程为研究对象,对腔体中粉尘颗粒运动过程进行仿真。提出了风刀射流风幕阻断除尘的工作原理,同时对整个风刀阻断除尘过程进行仿真研究,得到了粉尘...
关键词：风刀 粉尘颗粒 阻断除尘 射流风幕 运动轨迹 
基于激光三角法的内径测量不确定度分析被引量：2
《五邑大学学报（自然科学版）》2021年第1期42-48,共7页杜华娜 杨铁牛 胡金洲 林浩良 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02403-004)。
为探究激光三角法测量内径时的准确性,以30 mm的内孔零件为试验样本,通过控制测量装置移动,建立其与传感器示值的映射关系模型.分析激光三角法测量内径时影响精度的因素来源,并对其进行不确定度评定.结果表明:在物面倾角小于10o时,基于...
关键词：激光位移传感器 激光三角法 内径测量 不确定度分析 
摩擦纳米发电机:机械驱动的高压静电场
《科技纵览》2020年第3期64-66,共3页程嘉 
国家科技重大专项“含工艺腔室类IC装备建模仿真、多学科协同设计支持系统及实验平台”(项目编号:2011ZX02403-004);清华大学自主科研计划资助项目“面向残肢表面压力分布检测的智慧纺织衣物研制”(项目编号:20193080001)的支持。
自2012年摩擦纳米发电机发明以来,科学家们通过卓有成效的工作验证了这种新的发电模式在能量收集、微纳能源、自驱动传感、海洋能发电、高压电源、信息安全、环境监测、智能家居、可穿戴设备、物联网以及生物医学等方面大有可为,这是否...
关键词：可穿戴设备 摩擦起电 能源革命 高压静电场 机械驱动 信息安全 静电感应 自驱动 
低压腔室内流速分布规律研究
《真空科学与技术学报》2019年第3期197-205,共9页吴宗跃 杨铁牛 黄尊地 赵蕾蕾 杜华娜 
国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004)
工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在...
关键词：真空腔室 激光多普勒测速仪 流速 多因素 回归分析 
低压流场速度测量的不确定度分析被引量：4
《计量学报》2019年第2期278-284,共7页杨铁牛 邹胜 吴宗跃 赵蕾蕾 卢冬冬 阳亚 
国家科技重大专项(2011ZX02403-004)
激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了...
关键词：计量学 二维激光多普勒测速仪 真空腔室 流速测量 不确定度 
基于滑移界面耦合技术的旋转电机磁场仿真方法
《计算力学学报》2019年第1期90-95,共6页江鹏 骞耕 黄晓晓 张群 王平 关振群 
国家自然科学基金(11272074);国家重大科技专项(2011ZX02403-004)资助项目
提出了一种基于滑移界面耦合技术的旋转电机磁场仿真方法。首先,对旋转电机问题建立等效弱形式,用Lagrange乘子法施加Coulomb规范条件和滑移界面处的磁矢势连续性条件;然后,采用混合单元方法离散整个求解域中的未知量,采用棱边单元法离...
关键词：滑移界面 非匹配网格 LAGRANGE乘子法 多点约束法 棱边单元法 混合单元法 
基于频域互相关的LED晶粒阵列快速视觉检测被引量：2
《计量学报》2018年第4期476-480,共5页李鹤喜 韩新乐 杨铁牛 
国家科技重大专项(2011ZX02403-004);广东省自然科学基金(2016A030313003);江门市科技计划项目(20140060117111)
为了满足LED晶粒视觉检测的实时性要求,提出了一种频域互相关的快速模板匹配方法。首先通过一种递推求和算法将LED晶粒阵列图像的灰度在空间域进行归一化处理,然后利用快速傅里叶变换到频率域进行模板与LED晶粒阵列图像的互相关运算,快...
关键词：计量学 LED晶粒 视觉检测 频域互相关 模板匹配 
基于A-λ混合单元法的静磁场数值求解被引量：2
《电工技术学报》2018年第5期1167-1176,共10页江鹏 李敬 张群 罗林山 关振群 
国家自然科学基金面上项目(11272074);国家重大科技专项(2011ZX02403-004)联合资助项目
提出采用混合单元法解决静磁场有限元计算中的伪解问题。针对静磁场磁矢势方程,基于约束变分原理,引入Lagrange标量乘子施加Coulomb规范,得到A-λ混合列式,并进一步地识别出Lagrange乘子的梯度为激励电流的不协调部分。基于Newton-Raph...
关键词：静磁学 混合有限元法 Coulomb规范 LAGRANGE乘子法 Uzawa法 
基于二维LDV低压流场速度测量的研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2018年第3期169-175,共7页邹胜 杨铁牛 黄尊地 吴宗跃 赵蕾蕾 
国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004)
在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔...
关键词：二维激光多普勒测速仪 真空腔室 粒子浓度 背景噪声 流速测量 
PECVD变结构腔室热流场耦合规律研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2016年第11期1325-1333,共9页黄尊地 常宁 杨铁牛 周玉林 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02403-004)
在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素。通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法。对比...
关键词：真空半导体 热流场耦合 参数控制 变结构腔室 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部