西安市科技创新支撑计划基金(YF07051)

作品数：4被引量：33H指数：4
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TiO_2/ZrO_2复合薄膜的制备及工艺参数对薄膜折射率的影响被引量：6
《真空科学与技术学报》2010年第4期420-424,共5页徐均琪 李荣 苏俊宏 惠迎雪 
陕西省科技工业攻关计划项目(2007K07-17);陕西省国际科技合作重点项目(2008KW-12);西安市科技创新支撑计划(YF07051)
采用电子束蒸发混合膜料的方法制备了TiO2/ZrO2复合薄膜,研究了工艺条件(气体流量、沉积速率、基片温度、组份比)对其光学特性的影响。采用椭偏法测量了薄膜的折射率,分析了不同配比复合薄膜的色散特性,得出工艺参数与薄膜光学性能的相...
关键词：复合膜 折射率 配比 工艺参数 
多层薄膜光学常数的椭偏法研究被引量：17
《光电工程》2009年第2期29-33,共5页徐均琪 冯小利 
西安市科技创新支撑计划(YF07051);陕西省科技计划项目(2007K07-17)
研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程,并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析,建立了substrate/film1/EMA/film2/srough的物理结构模型。采用椭偏法,在首先确定出基底光学常数的基础上,提出了从单层、双层、三层逐次建模拟和的...
关键词：薄膜 厚度 光学常数 椭偏测量 
靶电流对非平衡磁控溅射制备无氢碳膜结构与性能的影响被引量：5
《表面技术》2009年第1期8-10,53,共4页刘衡平 徐均琪 严一心 
西安市科技创新支撑计划项目(YF07051);陕西省科技计划项目(2007K07-17)
利用非平衡磁控溅射(UBMS)技术在硅基片上制备了无氢碳膜,并采用Raman光谱、X射线衍射、傅立叶变换光谱等手段对不同靶电流下沉积的薄膜的微观结构、沉积速率、粗糙度、表面接触角及红外透过率进行了研究。试验结果表明:随着靶电流的增...
关键词：非平衡磁控溅射 类金刚石 性能 结构 
类金刚石薄膜的激光损伤特性及工艺优化被引量：5
《光电工程》2008年第12期45-49,共5页徐均琪 樊慧庆 刘卫国 苏俊宏 
教育部重点科技项目(101-050502);西安市科技创新支撑计划(YF07051)
采用脉冲真空电弧沉积(PVAD)技术制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对其抗激光损伤特性进行了研究,优化了制备工艺。对DLC薄膜激光损伤阈值(LIDT)的测试结果表明,随着厚度的增加,薄膜的LIDT开始呈下降趋势,当厚度达到100nm以上时,则趋于一个...
关键词：类金刚石(DLC) 脉冲真空电弧沉积(PVAD) 激光损伤阈值(LIDT) 工艺优化 
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