国家自然科学基金(60478034)

作品数：35被引量：175H指数：9
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相关作者：巴音贺希格李文昊唐玉国孔鹏齐向东更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《微细加工技术》《激光与光电子学进展》更多>>
相关主题：光栅全息衍射光栅全息凹面光栅光谱仪更多>>
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光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响被引量：2
《光学精密工程》2014年第10期2674-2682,共9页杨超 于海利 冯树龙 李晓天 齐向东 姜珊 唐玉国 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);国家973项目资助(No.2014CB049500)
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响。针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械改进方案:采用双...
关键词：刻划刀架 刻划光栅 刻线弯曲 刻线位置误差 光栅光谱 
基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正被引量：3
《光学精密工程》2014年第8期2039-2046,共8页李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005)
考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工...
关键词：平面光栅 光栅刻线 摆角修正 衍射波前 压电执行器 
基于悬臂梁称重传感器的圆弧刀研磨力测量仪设计被引量：3
《传感器与微系统》2014年第2期105-107,111,共4页金志樑 巴音贺希格 朱继伟 吉日嘎兰图 唐玉国 
国家自然科学基金资助项目(60478034);国家重大科研装备研制资助项目(ZBY2008-1)
为解决双圆锥形圆弧刀研磨力在线测量难题,设计了杠杆原理为基础的圆弧刀研磨力测量仪,建立了圆弧刀与磨盘之间研磨力数学模型。该仪器采用悬臂梁称重传感器,并以DSP2812为主控芯片,实现了圆弧刀研磨力的在线采集、处理、存储及实时显...
关键词：双圆锥形圆弧刀 杠杆原理 数字信号处理器 研磨力测量仪 称重传感器 
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法被引量：19
《中国激光》2013年第3期227-234,共8页李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国 
国家自然科学基金(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单色平行光入射、含有...
关键词：光栅 平面光栅 光栅刻线弯曲 光栅刻线位置误差 衍射波前 光栅指标 
球差在平场全息凹面光栅设计中的作用被引量：1
《激光与光电子学进展》2013年第1期93-98,共6页孔鹏 巴音贺希格 齐向东 李文昊 崔锦江 
国家自然科学基金(60478034);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023);国家创新方法工作专项(2008IM040700);中国科学院知识创新项目(100132H100);江苏省自然科学基金(BK2012188)资助课题
基于平场全息凹面光栅几何像差理论,分析了初级像差与高阶像差特别是球差对平场全息凹面光栅成像的作用。通过一个具体的设计,分别讨论宽波段光栅和窄波段光栅设计中校正球差与否对设计结果的影响。通过对光谱像大小和各种像差系数大小...
关键词：光栅 光谱仪 平场 全息凹面光栅 几何像差 点列图 
全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律被引量：2
《光学精密工程》2012年第11期2380-2388,共9页韩建 巴音贺希格 李文昊 孔鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023);中国科学院知识创新工程资助项目(No.100132H100)
为分析光栅槽形形成的基本原理及槽形随光刻胶特性曲线的演化规律,建立了显影过程中光栅掩模槽形形成的演化模型。基于光刻胶溶解速率在不同曝光量区间的变化,将光刻胶特性曲线分成3个不同区域并分析各区域在光栅掩模槽形形成中的作用,...
关键词：全息光栅 非线性效应 槽深 掩模槽形 光刻胶 
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法被引量：12
《光学学报》2012年第11期35-44,共10页李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国 
国家自然科学基金(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)资助课题
光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线误差与面型误差的光...
关键词：光栅 快速傅里叶变换 衍射波前 光栅指标 光栅刻线误差 
全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响被引量：5
《光学学报》2012年第7期58-65,共8页韩建 巴音贺希格 李文昊 孔鹏 
国家自然科学基金(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023);中国科学院知识创新项目(100132H100)资助课题
光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一,直接影响光栅分辨率,其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素。采用q参数讨论了高斯光束在光栅曝光光学系统中的传播和变换,通过计算高斯光束经准直系统后的相位给出...
关键词：衍射 叠栅条纹 光栅波像差 相对离焦 
全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法被引量：3
《物理学报》2012年第8期176-182,共7页韩建 巴音贺希格 李文昊 
国家自然科学基金(批准号:60478034);国家科技支撑计划(批准号:2006BAK03A02);吉林省科技发展计划(批准号:20070523.20086013)资助的课题~~
在全息光栅制作过程中,由空气悬浮颗粒及光学器件缺陷引起的散射光会被记录在光刻胶上,既影响光栅衍射效率,又会带来光栅杂散光.为消除系统散射光,需要对激光光束的高频成分进行滤波处理.但是,激光光束通过空间滤波器后发生衍射,进而影...
关键词：全息光栅 空间滤波器 衍射效应 相位突变 
凸面光栅成像光谱仪图像数据实时压缩技术
《光谱学与光谱分析》2012年第4期1132-1136,共5页刘仰川 巴音贺希格 崔继承 唐玉国 
国家自然科学基金项目(60478034);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005);吉林省科技支撑计划项目(20106011)资助
凸面光栅成像光谱仪图像数据量巨大,给数据的传输和存储带来了压力,因此要对图像数据进行实时压缩。首先根据成像原理对图像数据的特点进行了分析,得出去除空间相关性和谱间相关性的压缩途径;然后,进行了压缩算法分析,提出了在谱间进行...
关键词：成像光谱仪 一阶线性预测 JPEG2000 ADV212 实时压缩 
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