北京市自然科学基金(2082014)

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几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质
《影像技术》2011年第4期13-16,12,共5页刘娟 王争 王力元 
北京市自然科学基金(批准号:2082014)的支持
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收...
关键词：光产酸剂 光致抗蚀剂 硫鎓盐 光解 量子效率 
基于酸解型聚甲基丙烯酸酯的化学增幅成像材料及应用
《影像技术》2009年第2期21-24,共4页黎莹 程龙 王力元 
北京市自然科学基金(2082014)资助项目
甲基丙烯酸分别与乙烯基乙基醚和二氢吡喃反应得到羧基被保护的酯化物。这些甲基丙烯酸酯单体进行均聚并分别与甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸-2-羟乙酯进行二元共聚。这些聚合物的保护基具有在室温下的高酸解活性,可以和产酸剂(三嗪化合物...
关键词：甲基丙烯酸酯 酸解 产酸剂 化学增幅光致抗蚀剂 PS版 热敏CTP版 
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