国防基础科研计划(J092009A001)

作品数：6被引量：9H指数：2
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相关作者：孟祥艳王雪蓉周燕萍刘运传段剑更多>>
相关机构：中国兵器工业集团第五三研究所中国兵器工业集团公司更多>>
相关期刊：《光学学报》《物理学报》《中国测试》《化学分析计量》更多>>
相关主题：铝含量测量不确定度XGA晶体薄膜卢瑟福背散射更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>
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精确测定In_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铟含量的卢瑟福背散射法研究被引量：1
《中国测试》2017年第3期15-18,57,共5页王雪蓉 刘运传 孟祥艳 周燕萍 王康 王倩倩 
国防基础科研项目(J092009A001)
采用金属有机化合物气相淀积法(MOCVD)在蓝宝石上生长InxGa1-xN/Ga N晶体薄膜,Ga N缓冲层的厚度为2.5μm,InxGa1-xN晶体薄膜的厚度大约800 nm,通过光致发光光谱仪测量样品发光峰的峰值,确定铟镓氮晶体薄膜中铟分布的均匀性,取样品均匀...
关键词：氮铟镓 金属有机化合物气相淀积法 卢瑟福背散射 测量不确定度 
蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析
《半导体光电》2016年第4期524-527,共4页王雪蓉 刘运传 孟祥艳 周燕萍 王康 王倩倩 
国防基础科研计划项目(J092009A001)
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同Al组分含量的2μm厚Al_xGa_(1-x)N外延膜,通过透射电镜定性分析了外延膜中的位错和缺陷,通过高分辨X射线衍射试验对Al_xGa_(1-x)N外延膜进行ω/2θ扫描,结果显示外延膜为六方晶系纤锌矿结...
关键词：铝镓氮外延膜 MOCVD 高分辨X射线衍射 晶格常数 应变 
采用光致发光法和卢瑟福背散射法测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量及斯托克斯移动研究
《计量技术》2014年第11期3-6,11,共5页王雪蓉 刘运传 孟祥艳 周燕萍 王康 
国防基础科研计划项目（J092009A001）资助课题
采用深紫外光致发光技术测量AIxGa1-xN半导体薄膜的禁带宽度，结合软件模拟计算AIxGa1-xN薄膜的弯曲因子b，测定了AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量，同时采用卢瑟福背散射技术测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量。结果显示，AIxGa1-xN薄膜的...
关键词：光谱学 铝含量 弯曲因子 斯托克斯移动 光致发光 卢瑟福背散射AIxGa1-xN薄膜 
Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的卢瑟福背散射精确测定被引量：6
《物理学报》2013年第16期70-74,共5页刘运传 周燕萍 王雪蓉 孟祥艳 段剑 郑会保 
国防基础科研计划(批准号:J092009A001)资助的课题~~
采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀...
关键词：氮铝镓 卢瑟福背散射 测量不确定度 金属有机化合物气相淀积法 
分光光度法测量铝镓氮外延片中的铝含量
《化学分析计量》2013年第4期18-20,共3页刘运传 王雪蓉 孟祥艳 周燕萍 段剑 郑会保 
国防基础科研项目(J092009A001)
采用熔融的氢氧化钠刻蚀在蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延层，用深紫外光致发光光谱仪测量铝镓氮的荧光光谱来控制铝镓氮层的刻蚀深度，用盐酸将含铝氢氧化钠中和并调节至酸性（pH1-2）后转移至250mL的容量瓶内定容，用铬天青S络合显色...
关键词：铝镓氮外延片 分光光度法 铬天青S 络合物 
精确测定Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的电子探针波谱法研究被引量：4
《光学学报》2013年第6期336-340,共5页刘运传 周燕萍 王雪蓉 孟祥艳 段剑 郑会保 
国防基础科研计划项目(J092009A001)资助课题
采用蒙特卡罗理论模拟加速电子在氮铝镓晶体薄膜中的运动轨迹,研究加速电压与高能电子所能达到样品深度的数学关系,并通过紫外可见光透射法获得晶体薄膜的光学厚度。根据理论模拟结果,选择合适于本样品的加速电压、电流与电子束直径等...
关键词：薄膜 氮铝镓 电子探针波谱法 测量不确定度 蒙特卡罗法 
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