国家高技术研究发展计划(2010AA1221091001)

作品数：24被引量：154H指数：6
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相关作者：郑玉权巴音贺希格谭鑫吴娜高明辉更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
相关期刊：《长春工业大学学报》《光学与光电技术》《计算机仿真》《光学精密工程》更多>>
相关主题：探测仪衍射效率CO湿法刻蚀成像光谱仪更多>>
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CO_2探测仪近红外焦平面无效像元检测方法被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2016年第6期1-4,共4页李诚良 蔺超 郑玉权 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2010AA1221091001);国家自然科学基金(61527802)
针对HgGdTe探测器均匀性差、无效像元多,过多无效像元会降低碳卫星CO_2探测仪红外焦平面探测器探测精度,提出了一种基于探测器性能测试数据进行无效像元筛选的方法。首先利用CO_2探测仪冷光学实验设备采集暗背景数据与响应度数据,然后...
关键词：无效像元 近红外焦平面 成像光谱仪 响应度 
CO_2探测仪红外探测器组件的热设计被引量：3
《计算机仿真》2016年第3期27-31,共5页王殿君 陈立恒 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2010AA1221091001)
在低目标红外探测器的优化设计中,CO_2探测仪红外探测器组件内热源功耗大。为了满足信噪比要求使得探测器组件目标温度低、精度要求高,解决以上情况下探测器组件的散热问题,提出了主动热控与被动热控相结合、主动热控精密控制的热设计方...
关键词：红外探测器 热设计 热分析 
CO_2探测仪1610nm通道光谱仪的精细定焦
《中国光学》2015年第6期942-950,共9页郑成超 蔺超 王龙 纪振华 郑玉权 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.2010AA1221091001)~~
基于能量集中度的装调方法采用一套由可调谐激光器、积分球、平行光管和数据采集处理软件等组成的精细定焦系统,以确定CO2探测仪1 610 nm通道光谱仪的最佳焦面位置并完成探测器的精确安装,以像元光谱响应曲线(ILS)的全高半宽度(FWHM)作...
关键词：CO2探测仪 光谱响应曲线 光谱带宽 精密装调 聚焦评价函数 
空间光谱仪指向机构的力学分析被引量：2
《光学精密工程》2015年第11期3161-3167,共7页刘磊 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2010AA1221091001)
为了准确分析空间CO2光谱仪指向机构的力学特性,本文根据轴承结构参数,建立了轴承有限元接触分析模型。计算了不同载荷下轴心的位移量,用多项式对计算结果进行拟合得到轴承非线性刚度曲线。在指向机构有限元力学模型中,利用相应刚度的...
关键词：空间光谱仪 指向机构 轴承刚度 非线性接触分析 
痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点
《长春工业大学学报》2015年第5期496-502,共7页王军 
国家863计划基金资助项目(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023)
单晶硅中阶梯光栅闪耀角、非闪耀角以及顶角平台等参数对于其在光谱仪行业的应用十分重要。所以,为获得高精度中阶梯光栅槽形,对单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点时刻进行控制显得尤为重要。基于气相色谱-原子吸收光谱法对单晶硅与KOH刻...
关键词：截止点监测 痕量氢气 湿法刻蚀 中阶梯光栅 
反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅
《纳米技术与精密工程》2015年第4期239-243,共5页谭鑫 
国家高技术研究发展计划(863计划)重大资助项目(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项资助项目(2011YQ120023)
相比类矩形槽罗兰光栅，闪耀罗兰光栅的衍射效率较高，更有利于光谱分析仪器的设计与应用，而国内外尚无产品级闪耀罗兰光栅产品．本文通过类矩形槽形及闪耀槽形的衍射效率优化设计及对比，获得了闪耀槽形优化设计结果；利用反应离子束...
关键词：衍射效率 反应离子束刻蚀 粗糙度 罗兰光栅 
硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术
《长春工业大学学报》2015年第4期390-394,共5页焦庆斌 
国家863计划(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023)
建立了单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀全工艺过程,并对该工艺所涉及的光刻胶掩模制备、氧化层掩膜制备以及单晶硅湿法刻蚀等环节进行了研究。利用该工艺制作了口径为20mm×20mm的中阶梯光栅,其在入射波长532nm,Littrow方式入射时,-42级衍射...
关键词：硅中阶梯光栅 湿法刻蚀 衍射效率 
小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究被引量：1
《长春工业大学学报》2015年第3期288-292,共5页焦庆斌 
国家863计划基金资助项目(2010AA1221091001)
为降低硅中阶梯光栅制作工艺中顶角平台对光栅衍射效率的影响,提出了"紫外曝光-倒置热熔"结合法用于制备具有小占宽比的光刻胶掩模,对中阶梯光栅设计、硅基片准备以及光刻胶掩模制备等环节进行了研究。AFM测试结果表明,可以制备占宽比为...
关键词：紫外曝光 倒置热熔 硅中阶梯光栅 湿法刻蚀 
二氧化碳探测仪的热控系统被引量：5
《光学精密工程》2015年第4期1053-1061,共9页李毅 吴清文 陈立恒 黄勇 刘宏伟 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2010AA1221091001)
根据二氧化碳探测仪所处的空间环境、结构特点和工作模式,采用被动热控和主动热控相结合的方法设计了它的热控系统。首先,介绍了探测仪结构及内热源,同时分析了探测仪的外热流,从而得到了热控任务难点。然后,对探测仪的各个部分进行了...
关键词：二氧化碳探测仪 热控系统 热设计 热分析 热试验 
高光谱与高分辨率CO_2探测仪安装座结构设计被引量：2
《红外与激光工程》2014年第12期3973-3976,共4页高明辉 郑玉权 郭万存 
国家863高技术研究发展计划(2010AA1221091001)
随着环境大气污染程度的加剧,特别是CO2增加,各国对大气环境质量的监测越来越重视。相应的高光谱与高分辨率探测仪的应用也越来越得到关注。而星载探测仪必须满足空间环境的要求才能保证探测仪的成像质量。安装座作为探测仪的关键部件,...
关键词：高光谱 平动式安装座 支撑设计 CO2探测仪 
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