国家自然科学基金(50972023)

作品数:5被引量:10H指数:2
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AlN薄膜对TaN薄膜电阻器功率影响研究
《压电与声光》2016年第6期920-922,共3页赵祖静 张怀武 唐晓莉 
国家自然科学基金资助项目(50972023)
利用直流磁控溅射,在镍锌铁氧体基片上制作的TaN薄膜电阻器,受到铁氧体表面及内部结构特性差且导热系数低的影响,功率密度只能达到0.91 W/mm^2。利用射频磁控溅射,在铁氧体基片与薄膜电阻器间镀上1.5μm厚的AlN薄膜缓冲层,可有效改善基...
关键词:磁控溅射 镍锌铁氧体基片 AlN薄膜缓冲层 TaN薄膜电阻器 功率密度 
CAS玻璃釉对TaN薄膜电阻器功率影响研究被引量:1
《压电与声光》2015年第3期460-463,共4页黄子宽 张怀武 唐晓莉 
国家自然科学基金资助项目(50972023)
采用反应直流磁控溅射法在镍锌铁氧体基片上制备的TaN薄膜电阻器,由于镍锌铁氧体基片表面平整性差,散热性能低,制得的电阻器功率为1 W。通过制作CaO-Al2O3-SiO2(CAS)玻璃釉,以丝网印刷的方式对基片表面进行处理,再经过850℃烧结处理,得...
关键词:镍锌铁氧体基片 TaN薄膜电阻器 CAS玻璃釉 功率 
微波集成隔离器的仿真与设计被引量:5
《压电与声光》2013年第4期614-616,共3页计量 张怀武 牛旭博 
国家自然科学基金资助项目(50972023)
通过在旋磁基片上集成结环行器和TaN功率薄膜负载,设计出了小型化的微波隔离器。利用电磁场仿真软件HFSS对设计进行建模、分析和改进,得到在8~9GHz内,隔离度大于20dB,插入损耗小于0.5dB,电压驻波比小于1.25的集成化隔离器。设计所得的...
关键词:微波隔离器 TaN薄膜 结环形器 HFSS 电压驻波比 
旋磁基片DC-10GHz微波功率电阻器设计制作被引量:1
《电子元件与材料》2012年第11期22-24,共3页计量 张怀武 牛旭博 
国家自然科学基金资助项目(No.50972023)
基于旋磁基片设计并通过光刻工艺制作DC-10 GHz微波电阻器。通过HFSS仿真设计制作DC-10 GHz电阻器,采用磁控反应溅射制作TaN薄膜,电压驻波比VSWR均小于1.25。旋磁基片微波电阻器相对于应用广泛的氧化铝基片微波电阻器,可直接集成于同样...
关键词:薄膜电阻器 光刻工艺 旋磁基片 TaN薄膜 
Rare earth doped CaCu_3Ti_4O_(12) electronic ceramics for high frequency applications被引量:3
《Journal of Rare Earths》2010年第1期43-47,共5页慕春红 张怀武 刘颖力 宋远强 刘鹏 
supported by the National Basic Research Program of China (973) (2007CB31407);Foundation for Innovative Research Groups of the NSFC (60721001);the Young Fund of Sichuan Province (08ZQ026-013);the National Natural Science Foundation of China (50972023, 50872078)
Ca1-xRxCu3Ti4O12(R=La,Y,Gd;x=0,0.1,0.2,0.3) electronic ceramics were fabricated by conventional solid-state reaction method.The microstructure and dielectric properties as well as impedance behavior were carefully inv...
关键词:CACU3TI4O12 dielectric relaxation electronic ceramics LTCC devices rare earth ions doping 
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