国家自然科学基金(10245002)

作品数：6被引量：16H指数：3
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Photon Stimulated Desorption Studies on Stainless Steel Material with and without TiN Film Coating
《Chinese Physics C》2008年第z1期34-36,共3页张耀锋 王勇 尉伟 王建平 范乐 管长应 刘祖平 
国家自然科学基金(10245002)资助~~
PSD yield is a key criterion to evaluate the vacuum chamber material and its surface pretreatment in an electron storage ring.In this paper,a stainless steel vacuum chamber of 1500 mm in diameter has been tested befor...
关键词：stainless steel titanium nitride film photon stimulated desorption surface pretreatment 
不锈钢管道低温溅射镀TiN薄膜技术被引量：3
《强激光与粒子束》2007年第8期1381-1384,共4页张耀锋 王勇 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 
国家自然科学基金资助课题(10245002)
设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀TiN薄膜装置。利用该装置，对Ф86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜实验，并对镀膜实验结果进行分析，得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数。样...
关键词：低温直流溅射 TIN膜 不锈钢真空室 二次电子产额 加速器 
真空管道TiN膜热出气率实验研究被引量：5
《真空》2007年第4期59-61,共3页王勇 张耀锋 尉伟 范乐 王建平 耿会平 
国家自然科学基金(10245002)资助项目
简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据。
关键词：热出气率 TIN膜 真空材料 表面处理 
不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究被引量：4
《中国科学技术大学学报》2007年第4期509-513,共5页王勇 张耀锋 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 
国家自然科学基金(10245002)资助
在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数．实验结果表明，在压强为80～90Pa、基体温度为160～18...
关键词：直流溅射 TIN膜 真空室镀膜 表面处理 
不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究被引量：6
《核技术》2006年第3期161-164,共4页张耀锋 王勇 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 
国家自然科学基金(10245002)资助项目
介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能。结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢...
关键词：TIN薄膜 直流溅射 放气率 
真空管道自体溅射镀TiN膜研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2006年第3期232-235,共4页王勇 尉伟 张耀锋 王建平 范乐 耿会平 赵飞云 
国家自然科学基金(No.10245002)
本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。采用真空管道自体真空镀膜方法解决细长管道内表面镀膜问题,特殊的阴极靶结构设计成功地解决了长管道内表面直流溅射镀膜的问题。本实验方法在真空管道内壁获得了均...
关键词：TIN膜 直流溅射 管道镀膜 阴极靶 辉光放电 
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