国家高技术研究发展计划(715-002-0020)

作品数：2被引量：6H指数：1
导出分析报告
相关作者：黄建良汪建华邬钦崇舒兴胜更多>>
相关机构：武汉工程大学中国科学院等离子体物理研究所更多>>
相关期刊：《真空与低温》《武汉工程大学学报》更多>>
相关主题：金刚石膜大功率磁控管CVD金刚石膜化学气相沉积更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜被引量：6
《武汉工程大学学报》2007年第4期63-66,共4页黄建良 汪建华 
国家863计划资助项目(715-002-0020)
为了提高微波等离子体化学气相沉积CVD金刚石膜的速率,通过对微波源的磁控管、装置的冷却系统及真空密封技术三方面的改进,当微波频率为2.45 GHz、输出有效功率为6.0 kW以上时,装置能够长期稳定地运行;并在微波输入功率4.5 kW、CH4质量...
关键词：金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 磁控管 
水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜装置研制被引量：1
《真空与低温》2001年第1期15-17,20,共4页舒兴胜 邬钦崇 
国家 863计划资助项目!项目号: 715- 002- 0020
微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)是制备金刚石膜的一种重要方法。为了获得金刚石膜的高速率大面积沉积，研制成功了水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜的装置。装置在微波输入功率为 3.0 kW时能长时间稳定运行，并在硅衬底上沉积出金...
关键词：MWPCVD装置 稳定运行 金刚石膜 制备装置 微波等离子体化学气相沉积 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部