江苏省科技支撑计划项目(BE2009161)

作品数：10被引量：16H指数：3
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进电方式对高阻半导体硅放电加工影响研究被引量：2
《中国机械工程》2012年第6期725-728,共4页刘志东 曹银风 邱明波 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C)
进行了高阻半导体硅的放电铣削加工实验,通过检测脉冲放电电压和电流波形,对固定、旋转、随动三种进电方式下的加工情况进行了对比。结果表明:固定进电方式下,由于进电点会逐步生成不导电的钝化膜,接触电阻不断增大,回路中的总电阻不断...
关键词：电火花 高阻硅 进电方式 电阻 随动进电 
单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究
《中国机械工程》2012年第2期208-211,共4页刘志东 鲁清 邱明波 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161);江苏省博士后基金资助项目(1002009C)
对单晶硅电火花铣削过程中电极表面出现的覆盖层进行了分析,分析结果表明,该覆盖层的主要成分是SiO2。实验证明,SiO2是加工过程中电化学反应的产物。研究了电参数对SiO2覆盖层厚度的影响规律。研究结果表明,可以通过控制SiO2覆盖层的厚...
关键词：单晶硅 电火花铣削 电极损耗 覆盖效应 
单晶硅电火花线切割表面损伤层形成机理被引量：3
《航空学报》2012年第1期156-162,共7页刘志东 高连 邱明波 田宗军 汪炜 
国家自然科学基金(50975142);江苏省科技支撑计划(BE2009161);江苏省博士后基金(1002009C)~~
为了研究单晶硅电火花线切割(WEDM)表面损伤层的损伤形式和形成机理,以电火花线切割加工后的单晶硅表面为研究对象,采用表面形貌观察分析及择优腐蚀方法研究了单晶硅经过电火花线切割后的加工表面。研究结果表明单晶硅经电火花放电加工...
关键词：电火花线切割 单晶硅 损伤层 损伤形式 形成机理 
硅半导体放电加工中的肖特基势垒特性研究被引量：4
《应用基础与工程科学学报》2011年第4期664-671,共8页邱明波 刘志东 田宗军 汪炜 黄因慧 
国家自然基金(50975142);江苏省科技支撑计划(BE2009161);江苏省博士后基金项目(1002009C)
金属夹具与半导体接触会形成肖特基势垒,为了研究该势垒对半导体放电加工的影响,利用二极管和电阻模型建立了等效电路.固定端和放电端形成的肖特基势垒,都可等效成二极管,在放电回路中一个处于正向偏置,另一个处于反向偏置.本文通过两...
关键词：硅半导体 放电加工 肖特基势垒 伏安曲线 击穿电压 
电火花线切割单晶硅变质层与裂纹分析被引量：2
《中国机械工程》2011年第9期1090-1095,共6页高连 刘志东 邱明波 田宗军 汪炜 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划项目(BE2009161)
以电火花线切割的单晶硅为研究对象,建立了传热学数学模型,利用ANSYS仿真软件进行模拟计算,得到了放电区域的瞬态温度场和应力场分布。对电火花线切割后的硅片表面沿纵向进行了分层择优腐蚀试验,观察腐蚀表面形貌沿纵向的变化情况,确定...
关键词：电火花线切割 单晶硅 数值模拟 变质层 裂纹 
高阻半导体硅振动式深小孔放电加工研究
《中国机械工程》2011年第7期767-771,共5页曹银风 刘志东 邱明波 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划项目(BE2009161)
开展了高阻半导体硅深小孔放电加工试验研究,通过在工件硅上附加机械振动,研究振幅和频率对其放电穿孔加工效率的影响规律。试验表明:随着振幅的增大,加工效率先增加后降低;随着频率的增加,加工效率逐渐提高。原因在于随着振幅的增大,...
关键词：电火花 高阻硅 机械振动 穿孔加工 高深径比 
锗晶体放电加工特性及进电方式研究被引量：3
《机械工程学报》2011年第5期177-182,共6页刘志东 邱明波 汪炜 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金(50975142);江苏省科技支撑计划(BE2009161);江苏省高技术研究计划(BG2007004)资助项目
研究N型锗晶体放电加工中体现的单向导通性、表面电化学现象以揭示其特殊放电加工特征。试验发现N型锗晶体放电加工无法持续,其主要原因是进电接触面产生电解并生成不导电、不溶解的氧化物且阻塞在进电接触面缝隙内。为避免在进电接触...
关键词：锗晶体 半导体 放电加工 进电方式 随动进电 
单晶硅电火花铣削维持电压测定及蚀除机理研究被引量：1
《人工晶体学报》2011年第1期273-278,289,共7页鲁清 刘志东 田宗军 邱明波 黄因慧 
国家自然科学基金(50975142)资助项目;江苏省科技支撑计划(BE2009161)
提出一种以电火花放电加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,建立了半导体放电加工电路模型,测量了半导体放电加工放电通道的维持电压,其值为18 V。在此基础上,从放电能量和ANSYS仿真两个方面对单晶硅电火花铣削的蚀除机理进行了...
关键词：单晶硅 电火花铣削 维持电压 放电能量 蚀除机理 
单晶硅电火花铣削电极损耗研究被引量：1
《电加工与模具》2010年第6期13-16,39,共5页鲁清 刘志东 邱明波 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161)
提出了一种以电火花加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,分别进行了单晶硅和45钢的电火花铣削加工,发现铣削单晶硅的电极体积相对损耗仅为0.41%,而45钢达到9.22%。针对此现象,从蚀除机理、放电间隙以及放电电流的爬坡特性方面对...
关键词：单晶硅 电火花铣削 电极损耗 放电特性 
大尺寸及异型锗窗高效电火花线切割技术被引量：3
《航空学报》2010年第6期1288-1293,共6页刘志东 邱明波 汪炜 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金(50975142);江苏省科技支撑计划(BE2009161);江苏省科技计划项目(BG2007004)
研究了N型锗半导体电火花加工时所体现的单向导通性及特殊电特性,建立了电火花加工模型,分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件表征了锗半导体与进电端材料的接触势垒、极间体电阻、介质放电维持电压及工作液电阻。设计了锗半导...
关键词：锗 半导体 电火花加工 线切割 模型 
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