贵州省优秀青年科技人才计划(700968101)

作品数：19被引量：26H指数：4
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分子动力学模拟H原子与Si的表面相互作用
《物理学报》2013年第16期273-278,共6页柯川 赵成利 苟富均 赵勇 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助的课题~~
通过分子动力学模拟了入射能量对H原子与晶Si表面相互作用的影响.通过模拟数据与实验数据的比较,得到H原子吸附率随入射量的增加呈先增加后趋于平衡的趋势.沉积的H原子在Si表面形成一层氢化非晶硅薄膜,刻蚀产物(H2,SiH2,SiH3和SiH4)对H...
关键词：分子动力学 吸附率 表面粗糙度 氢化非晶硅薄膜 
分子动力学模拟CH^+离子与聚变材料钨的相互作用被引量：1
《核聚变与等离子体物理》2013年第2期127-134,共8页田树平 曹小岗 肖家浩 张浚源 张静全 潘宇东 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项资助项目(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划资助项目(700968101);科技部863基金资助项目(2011AA050515);自然科学基金支持资助课题(200010078)
采用分子动力学方法模拟了不同能量的CH+离子与聚变材料钨的相互作用。模拟结果表明:在入射过程中,能量分别为50、100和150eV的入射粒子,在不同入射剂量下,碳、氢原子沉积率发生突变,相互作用过程中造成少量的钨原子发生溅射,但溅射率...
关键词：电离分子动力学 聚变材料 沉积率 溅射率 钨晶格 
分子动力学模拟C＋离子与聚变材料钨的相互作用被引量：4
《真空科学与技术学报》2013年第4期351-357,共7页田树平 贺平逆 张静全 潘宇东 苟富均 
国际热核聚变实验堆计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101);科技部863基金项目(合同号:2011AA050515)
采用分子动力学方法模拟不同能量的C+离子与聚变材料钨的相互作用。模拟结果表明:当C+离子入射剂量为3.11×1016cm-2,入射能量为50 eV时,样品表面形成一层碳膜;而入射离子能量为150和250 eV时,C+离子入射到样品内与钨原子共同形成碳钨...
关键词：分子动力学 聚变材料 沉积率 溅射率 钨的晶格 
分子动力学模拟不同入射角度的SiF_3^+对SiC表面的作用
《材料导报》2012年第2期144-149,共6页贺平逆 吕晓丹 赵成利 苟富均 
贵州省优秀青年科技人才培养计划(700968101);国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006)
采用分子动力学模拟方法研究了300K入射能量150eV时,以不同角度(5°、30°、60°和75°)入射的SiF3+与SiC表面的相互作用过程。模拟中使用了用于Si-F-C体系的Tersoff-Brenner势能函数。模拟结果显示,入射SiF3+与SiC表面相互作用后会分解...
关键词：分子动力学 SiF3+刻蚀SiC 分子动力学模拟 SIC 
Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟被引量：2
《核技术》2012年第1期49-54,共6页张浚源 陈峰 孙伟中 吕晓丹 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。...
关键词：等离子体 鞘层 等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC) 容性耦合等离子体源(CCP) 
F原子与Si表面相互作用的动力学研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2012年第1期53-58,共6页赵成利 邓朝勇 孙伟中 吕晓丹 陈峰 贺平逆 张浚源 刘玉杰 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划资助的课题(批准号:700968101)
采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不...
关键词：分子动力学 沉积 刻蚀 Si-F反应层 
C^+轰击铍的分子动力学模拟被引量：3
《核聚变与等离子体物理》2011年第3期207-212,共6页孙伟中 赵成利 张浚源 陈峰 潘宇东 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划资助课题(700968101)
使用分子动力学模拟方法研究了入射能量对C+离子与Be样品表面相互作用的影响。模拟结果表明,随着C+离子的入射能量增大,C+离子注入深度也增加,Be原子的溅射产额近似线性增加,而滞留在样品中的C原子数量变化不大,在C+离子轰击Be样品的初...
关键词：分子动力学 入射能量 溅射 滞留 富C层 
入射角度对Ar^+与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟
《材料导报》2011年第16期136-139,共4页孙伟中 张浚源 赵成利 陈峰 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(700968101)
采用分子动力学模拟方法研究了入射角度对Ar+与SiC样品表面相互作用的影响。由模拟结果可知,入射角度对样品原子溅射影响很大。随着入射角度的增大,Si原子和C原子的溅射量先增加后减小。相同入射角度下,Si原子的溅射阈值比C原子的小,Si...
关键词：分子动力学 SIC 溅射 角度分布 
F原子与SiC(100)表面相互作用的分子动力学模拟
《物理学报》2011年第9期474-479,共6页贺平逆 吕晓丹 赵成利 宁建平 秦尤敏 苟富均 
贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101);国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006)资助的课题~~
本文采用分子动力学模拟方法研究了F原子(能量在0.5—15eV之间)与表面温度为300K的SiC(100)表面的相互作用过程.考察了不同能量下稳定含F反应层的形成过程和沉积、刻蚀过程的关系以及稳定含F反应层对刻蚀的影响.揭示了低能F原子刻蚀SiC...
关键词：分子动力学 刻蚀 能量 SIC 
聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟被引量：1
《真空科学与技术学报》2011年第3期320-325,共6页吕晓丹 秦尤敏 赵成利 宁建平 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助的课题
使用分子动力学方法模拟了低能H原子与碳氢薄膜的作用过程,以了解基于核聚变装置中等离子体与C基材料的相互作用机制。模拟中使用REBO(reactive empirical bond order)势函数来描述C-H体系中原子间的相互作用,并使用Berendsen热浴来控...
关键词：分子动力学 碳氢薄膜 吸附 刻蚀 
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