国防基础科研计划(A0920110016)

作品数：6被引量：19H指数：3
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相关作者：刘卫国陈智利史国权吴庆堂张锦更多>>
相关机构：西安工业大学西安电子科技大学长春理工大学更多>>
相关期刊：《微处理机》《中国机械工程》《红外与激光工程》《表面技术》更多>>
相关主题：表面形貌RMS光学性能单晶硅纳米微结构更多>>
相关领域：理学机械工程金属学及工艺核科学技术更多>>
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ICP刻蚀Si/PMMA选择比工艺研究被引量：2
《微处理机》2014年第1期9-11,14,共4页虎将 蔡长龙 刘卫国 巩燕龙 
国防基础研究项目(A0920110019);国防基础科研计划资助(A0920110016)
为了将聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上的图案等比例的转移到硅基材料上,对基于感应耦合等离子体技术(Inductively Coupled Plasma,ICP)的Si和PMMA的刻蚀速率进行了研究。结合英国牛津仪器公司的ICP180刻蚀系统,以SF6和O2混合气体为反应气体,...
关键词：等离子体刻蚀 SI PMMA选择比 图层转移 
低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构被引量：3
《光子学报》2014年第1期82-86,共5页陈智利 刘卫国 张锦 王蒙皎 
欧盟第七科技框架玛丽居里计划项目(No.247644);国防基础科研计划(No.A0920110016);陕西省教育厅科学研究项目(No.12JK0469);西安工业大学校长基金(No.XAGDXJJ1002)资助
利用离子柬溅射诱导实验方法，在单晶Si（100）基底上辅助沉积银膜，研究了低能Ar＋离子束30。入射时，不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响．结果表明：在较低基底温度下（32～100℃）辅助沉积银膜，膜层表面会呈...
关键词：微纳米制造技术 低能离子束刻蚀 自组装纳米结构 离子束辅助 银金字塔微结构 
不同离子束参数诱导单晶硅纳米微结构与光学性能被引量：7
《红外与激光工程》2013年第9期2490-2495,共6页陈智利 刘卫国 
国防基础科研计划(A0920110016);陕西省教育厅科学研究项目(12JK0469);欧盟第七科技框架玛丽居里计划(247644);西安工业大学校长基金(XAGDXJJ1002)
使用微波回旋共振离子源，研究了低能Ar＋离子束正入射时不同离子柬能量和束流密度对单晶硅（100）表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明，当离子柬能量为1000eV，束流密度为88-310μA／cm2时，样品表面出现自组装纳米点状结构，且随着...
关键词：低能离子束刻蚀 自组织纳米结构 表面形貌 表面粗糙度(RMS) 光学透过率 
改装超精密磨床的超精密车削试验研究被引量：3
《中国机械工程》2013年第7期882-885,共4页吴庆堂 聂凤明 史国权 吴焕 李珊 郭波 
国防基础科研项目(A0920110016)
对自主研制的T形结构超精密磨床进行改装,在超精密磨床的转台上安装单点金刚石圆弧车刀,进行了超精密车削试验研究。对超精密磨床和车床的结构、精度、刚度进行了分析和比较,确定在超精密磨床的基础上可以进行超精密车床的改造;通过调...
关键词：超精密车削 超精密磨床 静压导轨 静压轴承 
四栅网式离子能量分析仪栅网特性研究被引量：2
《表面技术》2013年第2期34-36,83,共4页潘永强 王飞飞 杭凌侠 弥谦 
陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(12JS047);国防基础科研计划资助(A0920110016)
为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析。分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网...
关键词：离子能量 栅网式能量分析仪 Simion模拟 四栅网 
影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究被引量：3
《中国激光》2012年第3期233-237,共5页吴庆堂 聂凤明 王大森 史国权 吴焕 李珊 郭波 
国防基础科研项目(A0920110016)资助课题
分析了方形非球面光学元件磨削加工中产生四角塌边误差的原因,计算了方形非球面光学元件磨削加工时砂轮轴系两种安装方式的磨削系统刚度,讨论了砂轮轴系安装的位置对加工精度的影响,进行了砂轮轴系两种安装方式的方形光学元件磨削试验,...
关键词：光学制造 方形非球面 精密磨削 四角塌边误差 
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