国家高技术研究发展计划(2004AA404250)

作品数:6被引量:30H指数:4
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相关作者:吴一辉张平贾宏光宣明刘治华更多>>
相关机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所郑州大学更多>>
相关期刊:《光学精密工程》《中国机械工程》《微细加工技术》《分析化学》更多>>
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相关领域:理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
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微观条件下的材料表面摩擦学性能测试被引量:6
《吉林大学学报(工学版)》2007年第1期95-99,共5页刘治华 李成 王春丽 
'863'国家高技术研究计划项目(2004AA404250)
针对微观条件下材料表面的摩擦学特性与宏观条件下材料表面的摩擦学特性具有很大差别而国内外在该方面研究较少的现状,提出了一种对微观条件下材料摩擦学性能测试的方法并研制出专用仪器———微摩擦测试仪。详细介绍了测试仪的工作原理...
关键词:仪器仪表技术 微机电系统(MEMS) 电荷耦合器件(CCD) 微摩擦测试 力传感器 
电容式Lamb波器件的信号接收方法被引量:2
《光学精密工程》2007年第1期76-83,共8页胡友旺 贾宏光 李锋 张平 王淑荣 吴一辉 
国家863计划项目(No.2004AA404250);国家自然科学基金项目(No.60474055)
提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(Capacitive Interdigital Transducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的...
关键词:电容式Lamb波器件 电容式叉指换能器 集成电路工艺兼容 电容式接收 直流电路法 
基于MEMS技术的微型分光光度计被引量:5
《光学精密工程》2006年第6期990-997,共8页周连群 吴一辉 张平 宣明 李正刚 贾宏光 
国家863MEMS重大专题资助项目(No.2004AA404250);中国科学院二期创新资助项目
研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,...
关键词:微硅片对准 微硅片狭缝 微型分光光度计 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 
聚二甲基硅氧烷表面亲水性的研究被引量:10
《分析化学》2006年第4期508-510,共3页李永刚 张平 吴一辉 宣明 
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404250);中国科学院创新基金(C02X01Z)资助
为了使聚二甲基硅氧烷(PDMS)具有较稳定的亲水性表面,利用氧等离子体技术对PDMS表面进行处理。研究了氧等离子体处理PDMS表面的时间、功率、氧气流量等参数对表面亲水性的影响,通过接触角测量和X-射线光电子能谱(XPS)对处理效果进行了...
关键词:氧等离子体 聚二甲基硅氧烷 亲水性 接触角 X-射线光电子能谱 
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
《微细加工技术》2006年第1期48-51,共4页何林 吴一辉 张平 宣明 
国家863MEMS重大专项资助项目(2004AA404250);中科院二期创新基金资助项目(C02X01Z)
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,...
关键词:微型全分析系统(μTAS) 血细胞分离 微过滤器 MEMS 微分离技术 
光反射法微摩擦测试仪被引量:8
《中国机械工程》2005年第14期1299-1302,共4页于正林 吴一辉 刘治华 贾宏光 黎海文 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404250);中国科学院二期创新工程
为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器,尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置。给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法,介绍了该仪器的设计原理、测力传...
关键词:MEMS 微摩擦测试 光反射法 硅传感器 线阵CCD 
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