陕西省科学技术研究发展计划项目(2012KJXX-01)

作品数：4被引量：11H指数：2
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相关作者：蒋庄德赵立波赵玉龙张桂铭刘志刚更多>>
相关机构：新疆交通职业技术学院西安交通大学学研究院更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《西安交通大学学报》《仪表技术与传感器》《工程热物理学报》更多>>
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微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量：5
《仪表技术与传感器》2015年第5期8-10,27,共4页热合曼.艾比布力 胡英杰 王同东 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 
国家自然科学基金项目(51375378;91323303);陕西省科学技术研究发展计划项目(2012KJXX-01);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012jdgz08);科技重大专项资助项目(2011ZX04004-061);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2012YQ03026101);111引智计划资助项目(B12016)
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下...
关键词：MEMS 黏度 微悬臂梁 谐振 传感器 
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器被引量：1
《工程热物理学报》2013年第12期2233-2236,共4页赵立波 徐龙起 热合曼.艾比布力 张桂铭 蒋庄德 赵玉龙 王久洪 王晓坡 刘志刚 
国家自然科学基金重点项目(No.51375378;No.90923001);陕西省科学技术研究发展计划项目(No.2012KJXX-01);中央高校基本科研业务费专项资金资助(No.2012jdgz08);长江学者和创新团队发展计划(No.IRT1033);高等学校学科创新引智计划(No.B12016);教育部科学技术研究重大项目(No.311001);"高档数控机床与基础制造设备"科技重大专项(No.2011ZX04004-061);国家重大科学仪器设备开发专项(No.2012YQ03026101)
本文采用基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器分别在26-34℃和30-50℃范围内，对甲苯和0．65CS二甲基硅油进行了密度实验研究。选用甲苯作为标准液对该传感器的工作参数进行标定，并测量了甲苯在26℃,30℃和34℃处的密度值。将甲苯的密...
关键词：MEMS 谐振频率 梯形悬臂梁 密度 传感器 
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器被引量：2
《光学精密工程》2013年第12期3152-3159,共8页郭鑫 热合曼.艾比布力 王鸿雁 赵立波 蒋庄德 
国家自然科学基金资助项目(No.50905139;No.90923001;No.51375378);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2012jdgz08);陕西省科技计划资助项目(No.2012KJXX-01);国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX04004-061);长江学者和创新团队发展计划资助项目(No.IRT1033);教育部科学研究重大项目(No.311001);高等学校学科创新引智计划资助项目(No.B12016);国家重大科学仪器设备开发专项(No.2012YQ03026101)
采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工...
关键词：超高压力传感器 自增强技术 压阻效应 微机电系统 圆筒结构 
矩形微悬臂梁的流固耦合谐振频率分析被引量：3
《西安交通大学学报》2013年第11期60-64,共5页赵立波 徐龙起 热合曼艾比布力 张桂铭 王鸿雁 秦宇 刘志刚 赵玉龙 蒋庄德 
国家自然科学基金资助项目(51375378;50836004;90923001);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012jdgz08);国家工信部科技重大专项项目(2011ZX04004-061);教育部长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT1033);教育部科学研究重大项目(311001);高等学校学科创新引智计划项目(B12016);陕西省科学技术研究发展计划项目(2012KJXX-01)
为了得到矩形微悬臂梁的谐振频率与流体密度的理论关系式,建立了微悬臂梁与流体的耦合振动微分方程.通过叠加微悬臂梁的真空振型替代微悬臂梁的流固耦合振型,将流体对微悬臂梁的影响转换为流体动压力,利用真空振型的正交性对振动微分方...
关键词：流固耦合 微悬臂梁 密度 谐振频率 
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