中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX1-Y-8)

作品数：6被引量：7H指数：2
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TI6x DSP系统上USB2.0接口的开发
《微计算机应用》2007年第7期736-739,共4页刘伟 赵艳雷 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(KGCX1-Y-8)
DSP系统处理的数据量越来越大,急需与主机间高速便捷的接口,USB接口以其480Mbit/s的传输速率及便捷的使用方法,成为不二选择。但USB协议本身异常复杂,应用系统开发难度较高。介绍了USB接口的开发,重点说明了系统硬件结构,叙述了固件程...
关键词：USB2.0 接口 DSP 
图形发生器的成像系统被引量：2
《微细加工技术》2006年第3期6-9,共4页刘伟 魏淑华 方光荣 顾文琪 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(KGCX1-Y-8)
为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分。硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程做了具体阐述。软件设计上利用点阵成像的原理,把采集到的图...
关键词：图形发生器 扫描 点阵成像原理 
基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计
《半导体技术》2005年第3期54-57,共4页郭颖 方光荣 
中国科学院知识创新工程重大项目(KGCX1-Y-8)
提出了一套功能较为完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案。方案采用TMS320C6713 芯片作为核心单元,并由USB2.0 接口电路、存储器扩展电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路构成。方案具有数据处理能力强...
关键词：电子束曝光机 图形发生器 数字信号处理 
纳米级电子束曝光机用图形发生器被引量：4
《微细加工技术》2005年第1期1-5,16,共6页刘伟 方光荣 顾文琪 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(KGCX1-Y-8)
为满足纳米级电子束曝光系统的要求,设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度...
关键词：图形发生器 电子束曝光机 纳米 
电子束曝光机的偏转系统被引量：1
《光电工程》2004年第12期12-16,共5页刘珠明 顾文琪 
中科院知识创新工程重大项目支持(KGCX1-Y-8)
电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描。像差低、偏转灵敏度高、扫描速度快是它的基本要求。对各种偏转器、偏转方式进行分析、比较,从偏转器空间场的数值计算方法、偏转系统的优化、像差校正、偏转器制作工艺、电气参数等方面阐...
关键词：偏转器 优化设计 动态校正 电子束曝光机 
DY-2001A型纳米级电子束曝光机中静电偏转器的设计
《微细加工技术》2004年第1期23-27,46,共6页刘珠明 顾文琪 李艳秋 
中科院知识创新工程重大项目资助(KGCX1-Y-8)
基于纳米曝光要求和JSM-35CF型扫描电镜,设计了一组上下偏转器长度不一致的静电偏转器,使偏转灵敏度大大提高。采用二阶有限元法计算了八极静电偏转器的轴上场分布。高精度的场分布有利于高级像差。为了使系统的总体像差最小,结合具体...
关键词：DY-2001A型 纳米级电子束曝光机 静电偏转器 设计 二阶有限元 光刻技术 
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