国家自然科学基金(50802012)

作品数：5被引量：14H指数：2
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Al_xZn_(1-x)O合金MSM光电探测器的研究被引量：1
《光电子．激光》2011年第2期228-231,共4页韦敏 邓宏 邓雪然 陈金菊 
国家自然科学基金资助项目(50802012);电子薄膜与集成器件国家重点实验室创新基金资助(CXJJ200901);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
在Si衬底上磁控溅射制备AlxZn1-xO（AZO）合金薄膜,在其上真空蒸发Ni/Au叉指电极获得金属-半导体-金属（MSM）结构光电探测器。采用UV-Vis-Nir分光光度计测量AZO系列薄膜的光吸收特性,观察到AZO合金薄膜的光学吸收带边随Al含量增加明显...
关键词：AlxZn1-xO(AZO) 光电探测器 合金 金属-半导体-金属(MSM) 
ZnO纳米针阵列合成及台阶动力学生长机理研究被引量：1
《人工晶体学报》2010年第6期1485-1489,共5页唐斌 邓宏 税正伟 张强 刘忠华 谌贵辉 
国家自然科学基金(50802012)资助项目;四川省教育厅青年基金(10ZB066);西南石油大学校级科技基金(2010XJZ197)
采用化学气相沉积系统,不用催化剂,生长过程中采用变温技术,在S i基片上合成了ZnO纳米针阵列。扫描电子显微图(SEM)显示ZnO纳米针阵列整齐密集生长在基片上,其棒状部分粗细均匀,直径约100 nm。透射电子显微照片(TEM)显示ZnO纳米针尖端...
关键词：ZnO纳米针阵列 化学气相沉积 台阶动力学 奇异面 
石英衬底上Au缓冲层对ZnO薄膜微结构的影响被引量：2
《发光学报》2010年第2期219-222,共4页李宁 陈金菊 邓宏 
国家自然科学基金(50802012)资助项目
采用单源化学气相沉积(SSCVD)法,在石英衬底上以Au为缓冲层,Zn4(OH)2(O2CCH3)6.2H2O为固相源制备ZnO薄膜。SEM和XRD测试ZnO薄膜的微结构,结果表明:相对于SiO2衬底上生长的ZnO薄膜,Au/SiO2衬底上生长的ZnO薄膜具有较好的结晶质量和表面...
关键词：化学气相沉积 缓冲层 ZNO薄膜 
额定压强下O_2/Ar比对ZnO:Al薄膜导电性能的影响被引量：2
《发光学报》2010年第2期227-229,共3页邓雪然 邓宏 韦敏 陈金菊 
国家自然科学基金(50802012)资助项目
采用射频磁控溅射法在石英玻璃基片上制备出ZnO:Al薄膜,并对薄膜在不同O2/Ar比状态下的沉积厚度、结晶性能和导电性能之间的关系进行了探讨。测试结果表明:在0.2Pa的额定压强下,Ar流量越大,薄膜的厚度越大,XRD峰越强,薄膜的电阻率(ρ)...
关键词：射频磁控溅射 ZnO:Al(AZO)薄膜 O2/Ar比 导电性能 
低温CVD法在玻璃衬底上制备ZnO纳米线阵列被引量：8
《发光学报》2010年第2期258-260,共3页夏文高 陈金菊 邓宏 
国家自然科学基金(50802012)资助项目
采用化学气相沉积(CVD)法在镀Cr(20nm)的玻璃衬底上,低温制备了ZnO纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对样品的表面形貌和微结构进行了分析表征。结果表明:源分解温度1350℃,衬底温度450～500℃,氩气流量为35sccm时,...
关键词：化学气相沉积 ZNO纳米线阵列 低温生长 
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