上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

作品数:6被引量:4H指数:1
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发文领域:电子电信自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺更多>>
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地铁区间隧道空气温度与围岩土体蓄放热量随年限演化特性的迭代求解
《暖通空调》2025年第3期153-158,85,共7页王丽慧 赖德清 左沪 陈薪浩 张腾 王宏丹 
国家自然科学基金资助项目(编号:51878408);中华人民共和国交通运输部“卫生防疫技术交通运输行业研发中心”资助项目。
基于CHAMPS-BES软件,提出了一种耦合区间隧道热平衡模型与围岩土体温度场的迭代求解方案。该方案通过多次迭代求解,得到了区间隧道空气温度、围岩土体温度场及蓄放热量随年限演化特征。研究结果表明,随着迭代次数增加,隧道空气温度的精...
关键词:地铁 区间隧道 空气温度 围岩土体 蓄放热 迭代求解 热环境 
光学检测系统的自动化与智能化发展研究
《互联网周刊》2024年第24期36-38,共3页赵德强 陈鹏 
在当今高科技迅速发展的背景下,光学检测系统作为质量控制和科学研究的重要工具,其自动化与智能化水平的提升显得尤为重要。本文立足于光学检测技术的最新进展,对光学检测系统的自动化与智能化发展进行了全面探讨,旨在为光学检测技术的...
关键词:光学检测 自动化 智能化 
光刻机光源系统中的波长控制与稳定性改进
《集成电路应用》2024年第5期70-71,共2页董佳 余洋 
阐述为改进机台光源系统中的波长控制与稳定性,通过完善现有光源系统,优化波长调节和稳定技术,并进行实验验证,探讨可行的解决方案。该方案包括理论分析、光学设计和波长调节实验。
关键词:集成电路 光刻机台 光源系统 波长控制 
高阶参数的实时反馈技术对套刻误差的优化
《集成电路应用》2024年第4期372-374,共3页余洋 董佳 袁伟 
阐述套刻误差补偿的常用分析模型,介绍挂载高阶套刻子处方(EEXY)是目前高阶参数补偿在光刻机端实现的主要形式。对比基于ASML LIS的EEXY实时反馈(LIS Run-to-Run)与传统基于APC的线性10参数实时反馈,以及目前先进节点普遍采用的10par Ru...
关键词:光刻机 套刻 高阶参数 线性参数 
基于自适应的NSGA-Ⅱ多目标柔性作业车间调度被引量:3
《机床与液压》2022年第18期129-135,共7页王冠 高尚 房思佳 
教育部产学合作协同育人项目(202002024046);石家庄市科技局软科学项目(215790145A)。
针对非支配排序遗传算法(NSGA-Ⅱ)进行自适应改进,采用独立的交叉和变异操作对工序与设备进行排序及分配的调整,从而求解多目标柔性作业车间调度问题。改进后的算法可依据不同阶段,动态调整算法的交叉概率与变异概率,提升算法运算效率...
关键词:非支配排序遗传算法 多目标 柔性车间作业调度 自适应 
半导体洁净室AMC控制过程的管理被引量:1
《集成电路应用》2022年第7期41-44,共4页钱刚 
阐述随着集成电路制造过程中的制程要求越来越高,AMC在生产过程中对良率会产生影响,AMC的控制不应仅仅生产运行时考虑,更应在项目规划、项目建设时期就要详细设计,从而为集成电路制造的生产运行创造良好的基础条件。探讨集成电路制造项...
关键词:集成电路制造 半导体洁净室 空气分子污染 AMC 污染物控制 环境监测 
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