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作品数：3被引量：15H指数：2
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基底温度和氧分压对直流磁控溅射制备的ZnO∶Al薄膜性能的影响被引量：5
《真空》2006年第6期11-14,共4页余志明 伍水平 魏秋平 牛仕超 彭传才 李京增 魏敏 
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l(ZAO)透明导电薄膜。详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长;衬底温度和氧...
关键词：ZAO薄膜 氧分压 直流磁控溅射 电阻率 透过率 
低辐射卷绕镀膜工艺在线透过率监控技术
《真空》2005年第4期19-21,共3页余圣发 彭传才 魏敏 胡云慧 李京增 彭晶 
介绍了卷绕镀膜生产线中镀膜工艺的透过率在线监控仪原理与实现方法,同时描述了透过率监控仪在低辐射卷绕镀膜中的应用。
关键词：低辐射 卷绕镀膜 码分多址 透过率 监控 
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术被引量：10
《真空》2001年第2期36-38,共3页胡云慧 李京增 余圣发 彭晶 苏丹丹 彭传才 李伟 蒋力 刘婧 
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
关键词：银 ITO膜 柔性薄膜 连续卷绕镀膜 镀膜工艺 磁控溅射 
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