硬质膜

作品数：51被引量：105H指数：5
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：张钧王宇赵微孙丽婷邓阳更多>>
相关机构：沈阳大学比亚迪汽车股份有限公司NTN株式会社华南理工大学更多>>
相关期刊：《材料工程》《大连海事大学学报》《润滑与密封》《铝加工》更多>>
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HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控被引量：1
《中国表面工程》2022年第5期42-55,共14页李坤 高岗 杨磊 夏菲 孙春强 滕祥青 张宇民 朱嘉琦 
国家自然科学基金杰出青年基金(51625201);国家自然科学基金重点(52032004)资助项目
磁控溅射过程中的等离子体密度和离化率这些等离子体微观放电特性强烈影响着沉积薄膜的微观结构和性能,高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)凭借其较高的溅射粒子离化率的优势引起了广泛的研究和关注。为了探究HiPIMS的高离化率的产生原因...
关键词：磁控溅射 高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS) 离化率 硬质膜 透明导电薄膜 
含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望
《材料保护》2022年第9期134-140,166,共8页苏富斌 张钧 王晓阳 钱春晖 陈磊 
辽宁省科技厅博士启动计划项目(2021⁃BS⁃276)资助。
针对现有的TiNbN硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、结合力、耐磨性等组织性能方面进行了分析概述。针对TiAlNbN硬质膜的硬度、耐磨性、抗热震性能等力学性能进行了总结,并对TiAlNbN硬质膜的发展进行了展望。
关键词：TiNbN硬质膜 TiAlNbN硬质膜 硬度 耐磨性 
Al/Ti摩尔比对(CrTiAl)N硬质膜相结构和硬度的影响
《材料研究学报》2022年第1期55-61,共7页张钧 彭立静 王宇 王晓阳 王楠 王美涵 
辽宁省高等学校创新人才支持计划(LR2019044)。
采用多弧离子镀技术,设计沉积工艺和调整阴极弧源靶组合以及对应的弧源电流,制备出以CrN为基形貌和厚度相同、Al/Ti摩尔比不同的系列(CrTiAl)N硬质膜。测试膜的成分、组织形貌、相组成和表面硬度,研究了Al/Ti摩尔比对其相结构和硬度的...
关键词：金属材料 (CrTiAl)N硬质膜 多弧离子镀 Al/Ti摩尔比 硬度 相结构 
氮化物硬质膜退除技术的研究进展
《材料保护》2021年第8期127-131,共5页张东阳 张钧 张热寒 王聪 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助。
氮化物硬质摸退除技术是镀膜刀具修复中一项不可缺少的技术,对于延长刀具寿命具有重要意义。介绍了多种氮化物硬质膜退除技术的退除原理、退除方法、退除效果,应用范围和局限性,综述了氮化物硬质膜退除技术的研究进展,同时对氮化物硬质...
关键词：氮化物硬质膜 退除 刀具 研究进展 
N/Ti原子比对TiN膜微结构及性能的影响综合分析
《材料保护》2021年第4期127-132,共6页彭立静 张钧 徐晨宁 王晓阳 王美涵 
辽宁省高等学校创新人才支持计划项目(LR2019044)资助。
TiN硬质膜是很多现有的多组元氮化物硬质膜的基础。N/Ti原子比对TiN硬质膜具有重要影响。结合TiN硬质膜的制备工艺方法,分析了膜层中N含量变化的影响因素及控制方法,详细讨论了N/Ti原子比对TiN膜相组成、硬度、耐摩擦磨损性能、光电性...
关键词：TiN硬质膜 N/Ti原子比 显微硬度 光电性能 
(Ti,Al,Cr)N膜系的研究进展被引量：1
《材料保护》2021年第3期131-136,共6页刘聪 张钧 张热寒 李宁 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助。
总结了(Ti,Al,Cr)N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对(Ti,Al,Cr)N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述。在...
关键词：(Ti Al Cr)N系硬质膜 抗氧化性 耐腐蚀性 显微硬度 抗摩擦磨损性能 
纯铜梯度纳米化表面硬质膜的微观结构演化与力学性能研究被引量：2
《有色金属材料与工程》2020年第6期16-23,共8页吴嘉楠 张柯 刘平 陈小红 
国家重点研发计划项目(2017YFB0306405)。
利用磁控溅射法在纯铜的表面沉积TiN硬质膜,然后对镀膜后的试样进行表面机械滚压处理(surface mechanical rolling treatment,SMRT),在其表层形成梯度纳米结构层。采用金相显微镜(optical microscopy,OM)、扫描电子显微镜(scanning elec...
关键词：表面机械滚压处理 硬质膜 梯度纳米结构 演化规律 
三组元氮化物硬质膜的硬度研究进展被引量：3
《材料保护》2020年第6期121-126,138,共7页徐晨宁 张钧 代佳艺 孙欣 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助。
结合氮化物薄膜的主要制备方法,主要就工艺参数和组元配比对氮化物薄膜硬度的影响进行了详细的介绍。从微观角度分析了在实际制备时,偏压、靶电流、N2流量、温度等工艺参数对氮化物薄膜硬度的影响。详细指出不同工艺参数、不同组元配比...
关键词：氮化物膜 硬度 工艺参数 组元配比 
CrN系硬质膜的发展与应用被引量：5
《材料保护》2019年第12期129-134,共6页董文杰 张钧 孙宇菲 彭立静 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助.
针对现有的各种CrN系硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、耐磨性、耐蚀性等组织性能方面进行了详细的讨论和分析,指出了不同CrN系薄膜的性能及优缺点,并对未来CrN系硬质膜的发展进行了展望。
关键词：CrN系硬质薄膜 硬度 耐磨性 抗氧化性 耐腐蚀性 
ZrN系硬质膜的研究进程与展望被引量：2
《材料保护》2019年第10期134-139,共6页杨晨 张钧 孙宇菲 彭立静 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助
以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述。在此基础上,提出了ZrN...
关键词：ZrN系硬质薄膜 硬度 耐磨性 抗氧化性 耐腐蚀性 
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