真空封装

作品数：95被引量：223H指数：8
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小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试被引量：12
《光学精密工程》2016年第8期1927-1933,共7页赵健 施芹 夏国明 裘安萍 吴志强 苏岩 
国家自然科学基金资助项目(No.61301214)
设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪...
关键词：硅微谐振式加速度计 专用集成电路 SOI工艺 真空封装 小型化 低功耗 
真空封装硅微陀螺品质因数的标定被引量：5
《光学精密工程》2014年第10期2708-2714,共7页王玉朝 滕霖 孙香政 王刚 郭志想 余才佳 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2011AA110102);国家国际科技合作专项资助项目(No.2011DFA72370)
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过...
关键词：硅微陀螺 真空封装 品质因数 标定 时延常数法 扫频法 
谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装被引量：26
《光学精密工程》2014年第5期1235-1242,共8页陈德勇 曹明威 王军波 焦海龙 张健 
国家自然科学基金资助项目(No.61072022)
为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底...
关键词：微电子机械系统 谐振式压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 阳极键合 真空封装 
硅微振动陀螺仪设计与性能测试被引量：14
《光学精密工程》2013年第5期1272-1281,共10页贾方秀 裘安萍 施芹 苏岩 
国家自然科学青年基金资助项目(No.61201391);中国人民解放军总装备部预研基金资助项目(No.9140A09022309BQ02)
介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测。利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构。为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空...
关键词：硅微振动陀螺仪 真空封装 自激驱动 温度补偿 
MEMS陀螺仪器件级真空封装技术被引量：24
《光学精密工程》2009年第8期1987-1992,共6页施芹 苏岩 裘安萍 朱欣华 
国家自然科学基金资助项目(No.10572039;No.10772086);江苏省青蓝工程支持计划项目;南京理工大学科研基金资助项目(No.XKF09004)
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品...
关键词：MEMS陀螺仪 真空封装 真空保持度 吸气剂 
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